6.2.2.1. Схема контроля способом вакуумной камеры приведена на рис.4. Наличие течи в объекте контроля определяется по индикации гелия, поступающего в вакуумируемый объем камеры, соединенный с течеискателем в результате перепада избыточного давления гелия в объекте контроля и разрежения, создаваемого вакуумной системой течеискателя и системой вспомогательной откачки.
6.2.2.2. При проектировании и изготовлении вакуумной (гелиевой) камеры должны учитываться следующие требования:
- для ускорения откачки форма камеры рекомендуется цилиндрической (допускается изготовление камеры по конфигурации ОК);
- должна быть предусмотрена герметичность фланцевых соединений, а также герметичность места вывода технологического переходника к баллону с гелием;
- допускается использование вакуумной замазки для дополнительной герметизации сварных швов и фланцевых соединений.
6.2.2.3. Порядок проведения контроля способом вакуумной камеры:
- объект контроля подготавливается в соответствии с требованиями п.6.1;
- объект контроля помещается в металлическую камеру, внутренняя поверхность которой предварительно очищается и осушивается;
- после уплотнения крышки камеры и установки манометра проводится откачка полости камеры до остаточного давления 7-8 Па [(5-6)·10 мм рт.ст.];
- в случае увеличения давления в камере масс-спектрометра (увеличения фонового сигнала) необходимо частично приоткрыть клапан системы вспомогательной откачки или прикрыть входной клапан течеискателя;
- производится калибровка способа контроля регистрацией фонового сигнала и сигнала от калиброванной контрольной течи;
- перед заполнением объекта контроля гелием полость его предварительно откачивается до давления не выше 700-1400 Па [5-10 мм рт.ст.];
- в полость объекта контроля подается гелий или воздушно-гелиевая смесь в пропорциях, устанавливаемых технологической картой на контроль герметичности;
- проводится выдержка объекта контроля под давлением.