DIN 50451-4-2024 Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS)
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в жидкостях. Часть 4. Определение 34 элементов в сверхчистой воде масс-спектрометрическим анализом с индуктивно-связанной плазмой