Материальная эталонная мера может использоваться для двух различных целей:
- определение метрологических характеристик с последующей оценкой неопределенности измерений;
- настройка прибора (см. ИСО 25178-601), вводящая поправки измеряемых величин.
Обе цели зависят от метрологических характеристик материальных эталонных мер.
Представленные ниже эталонные меры подходят для обеих целей; тем не менее, они были специально разработаны для оценки и исключения систематических погрешностей. Это связано с тем, что характеристики этих мер позволяют калибровать такие величины, как координаты X, Y и Z путем оценки и проверки корректирующих коэффициентов , и (см. серию ИСО 25178-601).
Однако эти материальные эталонные меры не предназначены для того, чтобы отделять погрешности, вносимые прибором, от погрешностей, вызванных фильтрацией и вычислительными алгоритмами. Алгоритмы могут быть протестированы с использованием виртуальных эталонных мер (см. ИСО 5436-2, ИСО 25178-7).
Более того, большинство материальных эталонных мер, представленных ниже, позволяют проверять и корректировать отклонение от перпендикулярности перемещений приводных устройств вдоль осей X и Y.
Эталонные меры, определенные в ИСО 5436-1, созданы для калибровки величин, позволяющих оценивать параметры профиля.
Эта часть стандарта ИСО 25178 содержит по умолчанию методы оценки виртуальных эталонных мер. Тем не менее, метод и характеристики эталонных мер должны быть предоставлены производителем.