ГОСТ Р 71380-2024 Пластины полупроводниковые и диэлектрические. Метод контроля закругленности края

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:

3.1 пластина: Часть кристалла, ограниченная двумя параллельными плоскостями, толщина которых меньше ее других размеров.

3.2 край пластины: Периферийная кольцевая зона пластины.