ГОСТ Р 71156-2023 Схемы коммутационные сверхвысокочастотного диапазона. Методы измерений электрических параметров

     3 Термины, определения и сокращения

3.1 В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ Р 59749, ГОСТ 17703 и [1], а также следующие термины с соответствующими определениями:

3.1.1 зондовая станция: Инструмент для тестирования бескорпусных полупроводниковых приборов.

Примечание - Инструменты и приспособления, в том числе:

- столик, обеспечивающий расположение пластины или кристаллов, с возможностью ориентации и перемещения по осям X, Y и Z;

- приспособления для удерживания пластины или кристаллов без ее (их) повреждения (вакуумный держатель);

- платформы для расположения манипуляторов и осуществления контакта зондов с измеряемым устройством;

- манипуляторы, предназначенные для позиционирования зондов на измеряемое устройство;

- зонды, устанавливаемые на манипуляторы и предназначенные для непосредственного контакта с измеряемым устройством;

- микроскопы, предназначенные для визуального контроля точности позиционирования зондов на измеряемом устройстве.

3.1.2 режим открытого канала: Режим работы испытуемого устройства, характеризующийся минимально вносимыми прямыми потерями между активными СВЧ-входом и СВЧ-выходом.

3.1.3 режим закрытого канала: Режим работы испытуемого устройства, характеризующийся максимально вносимыми прямыми потерями между активными СВЧ-входом и СВЧ-выходом.

3.2 В настоящем стандарте применены следующие сокращения:

ВАЦ - векторный анализатор цепей;

ГН - генератор (СВЧ-сигналов);