ГОСТ 32974.1-2023 (ISO 21360-1:2020) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения

     1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы и устанавливает три различных метода определения быстроты действия, по одному методу измерения базового давления, степени сжатия и наибольшего выпускного давления.

Первый метод определения быстроты действия (метод постоянного потока) является наиболее распространенным, когда постоянный поток газа напускается в насос, при котором измеряется впускное давление. На практике измерение потока газа с высокой точностью может быть затруднено. По этой причине приведены два других метода, при которых прямое измерение потока газа не используется.

Второй метод определения быстроты действия (метод двух манометров) обычно используется при небольшой величине потока и малых впускных давлениях (при высоком и сверхвысоком вакууме). Он основан на измерении перепада давлений в двухкамерной измерительной камере, где две камеры разделены диафрагмой с круглым отверстием.

Третий метод определения быстроты действия (метод постоянного объема) подходит для автоматизированного измерения. Он базируется на известной зависимости времени вакуумирования объема от параметров процесса вакуумирования: отношения давлений в начале и конце интервала вакуумирования, величины объема, времени вакуумирования. Различные воздействия, такие как натекание и скорость десорбции, охлаждение газа почти до изоэнтропического расширения в интервале откачки и увеличение газокинетического сопротивления в соединительной линии между измерительной камерой и насосом, вызванные изменением режимов течения газа при низких давлениях, влияют на измерение давления и, в результате, на быстроту действия. При выборе метода измерения необходимо учитывать технические характеристики конкретных типов вакуумных насосов: например, измерение наибольшего выпускного давления необходимо только для насоса, который работает с форвакуумным насосом. Измерения характеристик вакуумного насоса, не описанные в настоящем стандарте (например, измерение потребляемой мощности), определяются стандартом на конкретный тип вакуумного насоса.