ГОСТ Р 53734.5.6-2021 Электростатика. Защита электронных устройств от электростатических явлений. Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые

Введение

Настоящий стандарт устанавливает технические и организационные требования к проведению работ по защите интегральных микросхем (ИМС) и полупроводниковых приборов (ПП) от воздействия электростатических явлений при их разработке, производстве, испытаниях, транспортировании, хранении и применении при производстве электронных устройств (ЭУ). Непосредственное разрушительное воздействие на ИМС и ПП оказывает электростатический разряд (ЭСР), который является результатом воздействия различных электростатических явлений (накопление и релаксация зарядов, электростатическое поле, ионизация и др.) на внутренние структуры компонентов. Возможные виды повреждений от ЭСР:

- тепловой пробой p-n-перехода;

- возникновение в окисле пустот, нитевидных образований, испарение окисла, что приводит к замыканиям, обрывам и, как следствие, к неправильной работе ИМС;

- металлическая разводка и контакты могут плавиться и испаряться, в результате происходят замыкания и отказ ИМС;

- другие нарушения в структурах.

Поэтому при обеспечении защиты ИМС и ПП принимают меры, связанные со снижением влияния различных электростатических явлений, в целях недопущения возникновения ЭСР высокого уровня воздействия. Программа защиты от ЭСР заключается в преднамеренном создании системы предварительного уравнивания электростатических потенциалов между людьми и окружающими предметами до момента их взаимодействия друг с другом.

Общие требования по защите изделий электроники от воздействия электростатических явлений установлены в ГОСТ IEC 61340-5-1.

Настоящий стандарт разработан в целях снижения вероятности отказов чувствительных к ЭСР ИМС и ПП, связанных с воздействием ЭСР при производстве и на других этапах их жизненного цикла. В связи с этим стандарт содержит специальные требования по защите от ЭСР, применимые в процессе производства и применения ИМС и ПП, и ряд требований ГОСТ IEC 61340-5-1, актуальных для всех чувствительных к ЭСР изделий.

В рамках общего подхода к организации защиты от электростатических явлений по ГОСТ IEC 61340-5-1 предусматривается наличие в организации специальной программы ЭСР-управления и разработка плана выполнения программы. Это позволяет устанавливать требования по защите ИМС и ПП от электростатических явлений, которые согласованы с производственными условиями и конкретными типами компонентов, реализовывать дополнительные меры защиты, которые востребованы для всех применяемых и планируемых к применению типов ИМС, ПП и ЭУ. Благодаря такому подходу со стороны заказчиков повышается уровень доверия к качеству электронных компонентов и создаваемых на их основе ЭУ.

Требования и технические средства, рассмотренные в настоящем стандарте, относятся к вопросам "антистатической защиты производства". Следует иметь в виду, что защита от ЭСР в промышленности и других областях экономики не ограничивается защитой изделий электроники. В необходимых случаях специалисты организаций уделяют внимание вопросам электростатической безопасности (искробезопасности) взрывоопасных сред, специальных машин и комплексов. Во всех случаях, когда возникают вопросы об области распространения стандарта и сфере ответственности персонала, рекомендуется учитывать систему понятий и определений, установленную в ГОСТ Р 53734.1.