В.1.1 Общие положения
Цель данного испытания - убедиться в способности системы чистых помещений поддерживать требуемый перепад давления между чистым помещением и окружающей средой, а также между отдельными чистыми помещениями и чистыми зонами внутри системы чистых помещений [18]. Измерение перепада давления может проводиться для каждого из состояний чистого помещения и также может выполняться на регулярной основе, как часть программы текущего контроля оборудования по ИСО 14644-2 [2].
В.1.2 Методика проверки перепада давления воздуха
До начала измерения перепадов давления между помещениями или между помещениями и наружными зонами рекомендуется выполнить следующее:
- определить значения и допустимые пределы изменения перепадов давления между помещениями;
- убедиться, что расходы приточного воздуха и регулировка приточного кондиционера находятся в заданных пределах;
- убедиться в том, что элементы чистого помещения, которые могут повлиять на перепад давления между помещениями, такие как двери, окна, передаточные устройства и т.д., находятся в закрытом состоянии. Отверстия, которые находятся в нормально открытом состоянии, должны быть открыты при проведении испытаний;
- система подготовки воздуха работает в установившемся режиме;
- вытяжные системы работают в соответствии с требованиями.
Выполнить измерение перепадов давления между отдельными чистыми помещениями, чистыми зонами и связанными с ними соседними помещениями.
К этому относятся также измерения перепадов давления между классифицированными помещениями, связанными с неклассифицированной окружающей средой.
Во избежание ошибок следует:
a) учесть наличие постоянных точек измерения;
b) не выполнять измерения в чистых помещениях и чистых зонах вблизи отверстий для приточного воздуха, вытяжных отверстий, устройств подачи воздуха, дверей и других локальных зон с высокой скоростью воздуха, которые могут оказать влияние на локальное давление в точке измерения;
c) подтвердить направление потока воздуха с помощью методов визуализации потока в случае, если измеренный перепад давления ниже заданного значения.
В.1.3 Оборудование для измерения перепада давления воздуха
Описание оборудования и требования к измерениям приведены в C.2. Для проведения испытаний могут применяться электронный микроманометр, наклонный манометр или механический датчик перепада давления.
Оборудование должно иметь действующие сертификаты калибровки.
В.1.4 Протокол испытаний
В дополнение к пунктам протокола испытаний, указанным в разделе 5, по соглашению между заказчиком и исполнителем указываются следующие данные:
a) вид и условия измерений, вид испытаний;
b) описание каждого вида использованного оборудования и данные о его калибровке;
c) класс чистоты рассматриваемых помещений;
d) положение точек измерения, при необходимости;
e) состояние(я) чистого помещения.