ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний (с Поправкой)

Отметка о выборе контроли-
руемых параметров испытаний и их очередности

Контролируемый параметр

Пункт прило-
жения B с описа-
нием мето-
дики

Отметка о выборе оборудо-
вания

Тип оборудования

Пункт приложения C с описанием оборудо-
вания

Приме-
чание

Перепад давления

В.1

Электронный микроманометр

С.2.2

Наклонный манометр

С.2.3

Механический датчик перепада давления

С.2.4

Поток воздуха

В.2

С.3

Однородность скорости потока воздуха в чистом помещении или чистой зоне (однонаправленный поток воздуха)

В.2.2.2

Термоанемометр

С.3.1.2

Трехмерный ультразвуковой анемометр, или эквивалентный

С.3.1.3

Крыльчатый анемометр

С.3.1.4

Набор трубок

С.3.1.6

Скорость приточного воздуха (однонаправленный поток воздуха)

В.2.2.3

Термоанемометр

С.3.1.2

Трехмерный ультразвуковой анемометр, или эквивалентный

С.3.1.3

Крыльчатый анемометр

С.3.1.4

Набор трубок

С.3.1.6

Расход приточного воздуха, измеренный по скорости воздуха на лицевой стороне фильтра (однонаправленный поток воздуха)

В.2.2.4

Термоанемометр

С.3.1.2

Трехмерный ультразвуковой анемометр, или эквивалентный

С.3.1.3

Крыльчатый анемометр

С.3.1.4

Набор трубок

С.3.1.6

Расход приточного воздуха в воздуховоде (однонаправленный поток воздуха)

В.2.2.5

Диафрагменный расходомер

С.3.2.3

Расходомер Вентури

С.3.2.4

Статические трубки Пито и манометр

С.3.1.5

Термоанемометр

С.3.1.2

Расход приточного воздуха, измеренный после приточного фильтра (неоднонаправ-
ленный поток воздуха)

В.2.3.2

Расходомер воздуха в виде раструба (балометр)

С.3.2.2

Расход приточного воздуха, вычисленный по скорости воздуха на лицевой стороне фильтра (неоднонаправленный поток воздуха)

В.2.3.3

Термоанемометр

С.3.1.2

Трехмерный ультразвуковой анемометр, или эквивалентный

С.3.1.3

Крыльчатый анемометр

С.3.1.4

Расход приточного воздуха в воздуховоде (неоднонаправ-
ленный поток воздуха)

В.2.3.4

Диафрагменный расходомер

С.3.2.3

Расходомер Вентури

С.3.2.4

Статические трубки Пито и манометр

С.3.1.5

Термоанемометр

С.3.1.2

Направление потока воздуха и визуализация

В.3

Индикаторы для визуализации

C.4.4.1

Термоанемометр

С.4.2

Трехмерный ультразвуковой анемометр, или эквивалентный

С.4.3

Генератор аэрозолей

С.4.4

Ультразвуковой распылитель

С.4.4.2

Генератор тумана

С.4.4.3

Время восстановления

В.4

Счетчик аэрозольных частиц, работающий по принципу рассеяния света

С.5.1

Генератор аэрозолей

С.5.2

Вещества для получения аэрозолей

С.5.3

Система разбавления

С.5.4

Термометр

С.6

Температура

В.5

Термометр расширения

С.6 а)

Электрический термометр

С.6 b)

Термоманометр

С.6 с)

Влажность

В.6

Гигрометр точки росы

С.7 а)

Гигрометр, работающий на принципе изменения электропроводности

С.7 b)

Целостность установленной системы фильтрации

В.7

С.8

Испытания целостности установленной системы фильтрации методом сканирования с использованием фотометра аэрозолей

В.7.2

Фотометр аэрозолей

С.8.1

Генератор аэрозолей

С.8.3

Вещества для получения контрольных аэрозолей

С.8.4

Испытания целостности установленной системы фильтрации методом сканирования с использованием счетчика аэрозольных частиц, работающего по принципу рассеяния света (LSAPC)

В.7.3

Счетчик аэрозольных частиц, работающий по принципу рассеяния света (LSAPC)

С.8.2

Генератор аэрозолей

С.8.3

Вещества для получения контрольных аэрозолей

С.8.4

Система разбавления

С.8.5

Испытания фильтров, установленных в воздуховодах или установках очистки воздуха (кондиционерах)

В.7.4

Фотометр аэрозолей

С.8.1

Счетчик аэрозольных частиц, работающий по принципу рассеяния света (LSAPC)

С.8.2

Генератор аэрозолей

С.8.3

Вещества для получения контрольных аэрозолей

С.8.4

Система разбавления (только для метода с использованием LSAPC)

С.8.5

Герметичность ограждающих конструкций

В.8

С.9

Испытания с использованием счетчика аэрозольных частиц, работающего по принципу рассеяния света (LSAPC)

В.8.2.1

Счетчик аэрозольных частиц, работающий по принципу рассеяния света (LSAPC)

С.9.1

Генератор аэрозолей

С.9.2

Вещества для получения контрольных аэрозолей

С.9.3

Система разбавления

С.9.4

Испытания с использованием фотометра аэрозолей

В.8.2.2

Генератор аэрозолей

С.9.2

Вещества для получения контрольных аэрозолей

С.9.3

Фотометр аэрозолей

С.9.5

Статическое электричество и генерирование ионов

В.9

С.10

Статическое электричество

В.9.2.1

Электростатический вольтметр

С.10.1

Высокоомный омметр

С.10.2

Регистратор заряда пластины

С.10.3

Генерирование ионов

В.9.2.2

Электростатический вольтметр

С.10.1

Высокоомный омметр

С.10.2

Регистратор заряда пластины

С.10.3

Осаждение частиц

В.10

Демонстрационная пластина

С.11.1

Сканер поверхности пластины

С.11.2

Аэрозольный фотометр осаждения частиц (седиментометр)

С.11.3

Счетчик частиц на поверхности

С.11.4

Индикатор осаждения частиц

С.11.5

Оптический монитор осаждения частиц

С.11.6

Разделение зон

В.11

Счетчик аэрозольных частиц, работающий по принципу рассеяния света (LSAPC)

С.12.1

Генератор аэрозолей

С.12.2

Вещества для получения контрольных аэрозолей

С.12.3

Система разбавления

С12.4

При планировании и выборе испытаний в первой колонке можно указать номера, соответствующие последовательности проведения испытаний.

В четвертой колонке можно указать оборудование, соответствующее выбранным методикам испытаний.