ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний (с Поправкой)
4.1 Испытания чистых помещений
4.1.1 Общие положения
Классификация чистых помещений или чистых зон по концентрации аэрозольных частиц выполняется по ИСО 14644-1 [1]. Дополнительные показатели чистоты следует выбирать по таблице 1, если требуется.
Примечание - Каждый стандарт содержит методы контроля, основанные на характеристиках специфических свойств, руководство по оценке полученных данных и характеристики контрольного оборудования.
Таблица 1 - Методы испытаний для чистых помещений и чистых зон
Общее описание | Ссылка на |
Уровни чистоты поверхностей по концентрации частиц | ИСО 14644-9 [6] |
Уровни чистоты воздуха по химическим загрязнениям | ИСО 14644-8 [5] |
Уровни чистоты поверхностей по химическим загрязнениям | ИСО 14644-10 [7] |
Текущий контроль (мониторинг) чистоты воздуха по концентрации частиц в нанодиапазоне | ИСО 14644-12 [8] |
4.1.2 Вспомогательные испытания
В таблице 2 приведены другие виды контроля, которые могут быть использованы для оценки функционирования чистого помещения или чистой зоны. Эти испытания могут выполняться в каждом из трех состояний; подробности приведены в приложении В для областей применения. Эти испытания могут не быть исчерпывающими, не все они могут требоваться для конкретного проекта. Испытания и методы испытаний следует выбирать по соглашению между заказчиком и исполнителем. Выбранные испытания могут также повторяться регулярно, как часть текущего контроля (мониторинга) или периодического контроля. Руководство по выбору этих методов испытаний и контрольный лист испытаний приведены в приложении А. Методы испытаний приведены в приложении В.
Примечание - Методы испытаний, приведенные в приложении В, имеют только справочный характер. Для конкретных областей применения могут быть разработаны специальные методы.
Таблица 2 - Вспомогательные методы испытаний
Вспомогательные испытания | Пункт ИСО 14644-3 | ||
Область применения | Методика | Оборудование | |
Контроль перепада давления воздуха | 4.2.1 | B.1 | С.2 |
Контроль потока воздуха | 4.2.2 | B.2 | С.3 |
Контроль направления и визуализация потока воздуха | 4.2.3 | В.3 | С.4 |
Контроль времени восстановления | 4.2.4 | В.4 | С.5 |
Контроль температуры | 4.2.5 | В.5 | С.6 |
Контроль влажности | 4.2.6 | В.6 | С.7 |
Контроль утечек установленной системы фильтрации | 4.2.7 | В.7 | С.8 |
Контроль герметичности ограждающих конструкций | 4.2.8 | В.8 | С.9 |
Статическое электричество и генерирование ионов | 4.2.9 | В.9 | С.10 |
Контроль осаждения частиц | 4.2.10 | В.10 | С.11 |
Контроль разделения зон | 4.2.11 | В.11 | С.12 |
Примечание - Настоящие вспомогательные методы испытаний представлены не в порядке их значимости или хронологии. Последовательность выполнения испытаний может определяться требованиями специальных документов или по соглашению между заказчиком и исполнителем.
| |||
Испытание на осаждение частиц также может проводиться при аттестации чистого помещения в эксплуатации.