ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний (с Поправкой)

     3.6 Контрольно-измерительное оборудование и условия контроля (испытаний)

3.6.1 генератор аэрозолей (aerosol generator): Устройство, генерирующее частицы в определенном диапазоне размеров (например, от 0,05 мкм до 2 мкм) с постоянной концентрацией, которые могут образовываться за счет теплового, гидравлического, пневматического, акустического или электростатического эффектов.

3.6.2 фотометр аэрозолей (aerosol photometer): Устройство для определения массовой концентрации аэрозольных частиц (3.2.1), работа которого основана на принципе рассеяния света, использующее оптическую камеру с прямым рассеянием света.

3.6.3 расходомер воздуха с измерительным устройством (airflow capture hood with measuring device): Прибор с устройством, которое полностью накрывает фильтр или воздушный диффузор и направляет воздух для непосредственного измерения расхода воздуха.

3.6.4 счетчик аэрозольных частиц, работающий по принципу рассеяния света, дискретный счетчик частиц (light scattering airborne particle counter, LSAPS): Устройство для счета и записи отдельных частиц (3.2.1) (с разделением по размерам) в терминах эквивалентного оптического диаметра.

Примечание - Требования к счетчикам аэрозольных частиц установлены ИСО 21501-4.

[ИСО 14644-1:2015, 3.5.1, модифицированный - исключен термин "дискретный лазерный счетчик частиц, работающий по принципу рассеяния света". Примечание 1 изменено]

3.6.5 демонстрационная пластина (witness plate): Чувствительный к загрязнениям материал с определенной площадью поверхности, используемый вместо прямого измерения загрязнения поверхности, которая находится в недоступном месте или слишком чувствительна для прямого измерения.