ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний (с Поправкой)

     4.2 Основные принципы

4.2.1 Контроль перепада давления воздуха

Целью контроля перепада давления воздуха является проверка способности чистого помещения поддерживать заданный перепад давления между чистым помещением и окружающей средой. Контроль перепада давления воздуха следует выполнять после того, как подтверждены критерии приемлемости для скорости потока воздуха или расхода воздуха, однородности скорости и другие параметры. Подробное описание метода контроля перепада давления воздуха дано в В.1.

4.2.2 Контроль потока воздуха

Этот тест выполняется для определения параметров потока приточного воздуха, подаваемого в помещение как с однонаправленным, так и с неоднонаправленным потоком воздуха, или в чистые зоны. Для однонаправленного потока воздуха измеряется скорость потока приточного воздуха, как правило, в отдельных точках, чтобы определить однородность скорости потока. Средняя величина значений скорости в отдельных точках может использоваться для расчета расхода приточного воздуха и кратности воздухообмена (числа воздухообменов в час). Для неоднонаправленного потока не требуется измерять скорость в отдельных точках, поскольку однородность скорости, как правило, не требуется. В этих случаях расход воздуха может измеряться непосредственно и затем выполняться расчет кратности воздухообмена (число обменов воздуха в час) для чистого помещения или чистой зоны. Методики контроля потока воздуха приведены в В.2.

4.2.3 Контроль направления потока воздуха и методы визуализации

Целью данного теста является подтверждение направления потока воздуха и/или линии потока воздуха в соответствии с проектной и эксплуатационной документацией. При необходимости могут также проверяться пространственные характеристики потока воздуха в чистом помещении или чистой зоне. Методики контроля приведены в В.3.

4.2.4 Контроль времени восстановления

Контроль времени восстановления выполняется с целью определения способности чистого помещения или чистой зоны возвращаться к заданному уровню чистоты в течение определенного времени после кратковременного выделения частиц. Этот тест не выполняется для однонаправленного потока воздуха. Методика проведения данного теста дана в В.4. При использовании искусственного аэрозоля следует учитывать риск появления остаточных загрязнений в чистом помещении или чистой зоне.

4.2.5 Контроль температуры

Целью данного теста является проверка температуры в пределах заданных значений в течение времени, определенных заказчиком, для испытуемой зоны. Методики проведения даны в В.5.

4.2.6 Контроль влажности

Целью данного теста является проверка того, что влажность (относительная влажность или точка росы) находится в пределах заданных значений в течение времени, определенных заказчиком, для испытуемой зоны. Методики приведены в В.6.

4.2.7 Контроль установленной системы фильтрации на утечку (проскок частиц)

Данные тесты выполняются для подтверждения того, что система финишной высокоэффективной фильтрации установлена правильно путем проверки отсутствия утечек в обход фильтров в системе фильтрации и проверки того, что фильтры не имеют дефектов (мелких отверстий и других повреждений фильтрующего материала, утечек в раме, герметике). Эти тесты не выполняются для определения эффективности фильтрующего материала. Тесты выполняются путем введения аэрозоля до фильтров и сканирования поверхности фильтров и их креплений или отбора проб в воздуховоде после фильтра. Методики контроля на утечку даны в В.7.

4.2.8 Контроль герметичности ограждающих конструкций

Этот тест выполняется для обнаружения проникания не прошедшего через фильтры воздуха в чистое помещение или чистую зону из среды, окружающей чистое помещение или чистую зону, через соединения, элементы герметизации, двери и потолки, находящиеся под давлением. Методики контроля даны в В.8.

4.2.9 Контроль статического электричества и генерирования ионов

Целью данных тестов является определение уровней статического напряжения на различных предметах, способности материалов рассеивать статическое электричество и характеристик генераторов ионов (ионизаторов), применяемых для регулирования статического электричества в чистых помещениях или чистых зонах. При измерении статического электричества определяются статическое напряжение на рабочих поверхностях и поверхностях продукта, а также способность полов, поверхностей рабочих мест и других объектов рассеивать статическое электричество. Исследование генерирования ионов выполняется для оценки способности ионизаторов снижать статический заряд на поверхностях. Методики испытаний приведены в B.9.

4.2.10 Контроль осаждения частиц

Целью данного теста является оценка числа и размеров частиц, осажденных из воздуха чистого помещения на поверхность в течение согласованного периода времени. Методики проведения данного теста даны в В.10.

4.2.11 Контроль разделения зон

Целью данного теста является оценка эффективности разделения зон, достигаемого специальным потоком воздуха. Тест выполняется путем подачи частиц в менее чистую зону и определения концентрации частиц в защищаемой зоне с другой стороны линии разделения. Методики контроля даны в В.11.