В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:
3.1 поверхностное сопротивление (surface resistance): Сопротивление, в омах, определяемое контактом электродов с установленными характеристиками с поверхностью материала.
3.2 удельное поверхностное сопротивление (surface resistivity): Сопротивление, в омах, между противоположными краями квадратного куска материала по поверхности материала.