Стандартный метод классификации чистоты воздуха по концентрации частиц
A.1 Общие положения
Для определения концентрации аэрозольных частиц с размерами равными и большими заданных значений в заданных точках отбора проб следует применять дискретный счетчик частиц.
A.2 Требования к приборам
A.2.1 Счетчики частиц
Счетчик должен иметь экран или регистрирующее устройство счета дискретных аэрозольных частиц с возможностью распознавания размеров частиц, позволяющей определять концентрацию частиц в заданных диапазонах размеров для данного класса.
Примечание - Для классификации чистоты воздуха обычно используются дискретные счетчики аэрозольных частиц, работающие по принципу рассеяния света.
A.2.2 Калибровка счетчика
Счетчик частиц должен иметь действующий сертификат калибровки. Периодичность и метод калибровки следует определять в соответствии с принятой практикой по ИСО 21501-4 [1].
Примечание - Некоторые счетчики частиц не могут быть калиброваны по всем требованиям ИСО 21501-4 [1]. В этом случае в протоколе испытаний следует указать на решение об использовании счетчика.
A.3 Подготовка к счету частиц
Перед проведением испытаний следует убедиться, что все требования к чистому помещению или чистой зоне, влияющие на ее работу, выполнены и что она функционирует в соответствии со своим назначением.
Следует обратить внимание на последовательность проверки вспомогательных параметров. Контрольный лист приведен в приложении A к ИСО 14644-3.
A.4 Определение точек отбора проб
A.4.1 Число точек отбора проб
Число точек отбора проб для заданной площади классифицируемого чистого помещения или чистой зоны следует определять по таблице A.1, согласно которой с доверительной вероятностью не менее 95% не менее 90% площади чистого помещения или чистой зоны не выходят за допустимые пределы.
Таблица A.1 - Число точек отбора проб в зависимости от площади чистого помещения
Площадь чистого помещения, меньшая или равная, м | Минимальное число точек отбора проб () |
2 | 1 |
4 | 2 |
6 | 3 |
8 | 4 |
10 | 5 |
24 | 6 |
28 | 7 |
32 | 8 |
36 | 9 |
52 | 10 |
56 | 11 |
64 | 12 |
68 | 13 |
72 | 14 |
76 | 15 |
104 | 16 |
108 | 17 |
116 | 18 |
148 | 19 |
156 | 20 |
192 | 21 |
232 | 22 |
276 | 23 |
352 | 24 |
436 | 25 |
636 | 26 |
1000 | 27 |
>1000 | См. формулу А.1 |
Примечания 1 Если площадь помещения попадает между двумя значениями в таблице, то выбирается большее из двух значений. 2 Для однонаправленного потока площадь может рассматриваться как поперечное сечение потока воздуха перпендикулярно направлению движения потока. Во всех других случаях площадь может рассматриваться как площадь горизонтальной плоскости чистого помещения или чистой зоны. |
A.4.2 Расположение точек отбора проб
Для расположения точек отбора проб следует:
a) определить минимальное число точек отбора проб по таблице A.1;
b) разбить все чистое помещение или чистую зону на равное число секций с одинаковыми площадями;
c) указать внутри каждой секции точку отбора проб, которая принимается представительной для всей секции;
d) поместить в эти точки пробоотборник счетчика частиц в плоскости рабочих операций или в другой заданной точке.
Могут быть выбраны дополнительные точки отбора проб в местах, которые признаны критическими.
Дополнительные секции и соответствующие точки отбора проб могут быть получены путем разделения секций на одинаковые подсекции.