ГОСТ 32974.1-2016 (ISO 21360-1:2012) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения (с Поправкой)

     5.1 Определение быстроты действия методом постоянного потока

5.1.1 Общие положения

Метод постоянного потока для вакуумных насосов применяется для всех диапазонов давления и типоразмеров насосов, где быстрота действия определяется с достаточной точностью. Диапазон измерения производительности вакуумных насосов выбирается умножением ожидаемой быстроты действия на максимальное и минимальное рабочие давления испытываемого насоса.

Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:

а) относительно начального вакуума или в соответствии с национальным стандартом,

b) с помощью инструментов абсолютного измерения, которые соответствуют международной системе единиц, к которой могут быть отнесены неточности измерения.

Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки в соответствии с ГОСТ ИСО/МЭК 17025.

5.1.2 Измерительная камера для метода постоянного потока

Для данных измерений следует использовать измерительную камеру в соответствии с рисунком 1, с номинальным диаметром , равным диаметру впускного отверстия испытываемого насоса. Верхняя часть камеры, противоположная впускному отверстию может быть плоской, конической, или немного выпуклой с такой же средней высотой над фланцем, как для плоской поверхности. Фланцы для подсоединения вакуумных измерительных приборов должны располагаться на высоте 0,5D над фланцем измерительной камеры для подсоединения к насосу или к переходнику. Желательно использовать три измерительных прибора. Диаметр отверстий этих фланцев должен быть равен диаметру отверстий подсоединяемых манометрических преобразователей, и их присоединительные размеры должны быть указаны. Нельзя располагать измерительные приборы под углом (в радиусе) ±45° рядом с трубопроводом для впуска газа. Соединительные каналы между фланцем и камерой не должны выходить за пределы стенки камеры с внутренней стороны, за исключением трубопровода для впуска газа.

Измерительная камера, если необходимо для испытываемого насоса, должна быть оснащена устройством для обезгаживания, которое обеспечивает ее равномерное нагревание для достижения базового давления.

Объем измерительной камеры зависит от типа испытываемого насоса (см. в стандарте на конкретный тип вакуумного насоса).

Для испытываемых насосов с диаметром впускного фланца менее номинального диаметра =100 мм, диаметр камеры должен соответствовать =100 мм. Переход к впускному фланцу насоса производится с помощью конического переходника на 45°, в соответствии с рисунком 1.

1 - трубопровод для впуска газа и точка измерения температуры ; 2 - подсоединение вакуумметра и масс-спектрометра; D - внутренний диаметр измерительной камеры; - номинальный диаметр переходника, равный впускному отверстию фланца испытываемого насоса

Рисунок 1 - Измерительная камера

5.1.3 Измерительная установка

Измерительная камера должна быть чистой и сухой. Чистота испытываемого насоса, уплотнителей и других компонентов должна соответствовать предполагаемому базовому давлению. Все компоненты собираются в чистых условиях в соответствии с рисунком 2. Расходомеры с разным диапазоном измерений следует подключать параллельно. Если поток превышает диапазон измерений, то можно использовать несколько расходомеров параллельно с клапаном между каждым расходомером и трубопроводом. Вместо расходомера и клапана можно использовать измерители массового расхода с программируемой пропускной способностью. Они комбинируются в параллели на трубопроводе.

Герметичность больших расходомеров бывает часто недостаточной, в связи с чем рекомендуется использовать клапан между расходомером и магистралью.

Ионизационные вакуумметры и масс-спектрометры устанавливаются таким образом, чтобы не было прямой геометрической линии между ними.

ВНИМАНИЕ! Необходимо соблюдать инструкцию производителя по безопасному использованию вакуумного насоса.

1 - измерительная камера; 2 - форвакуумный насос; 3 - испытываемый насос; 4 - клапан напуска газа; 5 - расходомер (для измерения Q); 6 - вакуумметр (для измерения ); 7 - нагревательная рубашка (дополнительно); 8 - вакуумметр (для измерения ); 9 - точка измерения температуры

Примечание - Позиции 2 и 8 используются только при применении форвакуумных насосов.

Рисунок 2 - Схема оборудования для определения быстроты действия методом постоянного потока