ГОСТ 32974.1-2016 (ISO 21360-1:2012) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения (с Поправкой)

     1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы и устанавливает три различных метода определения быстроты действия, степени сжатия, измерения базового и наибольшего выпускного давлений.

Метод постоянного потока - это определение быстроты действия при напуске в вакуумный насос постоянного потока газа, при котором измеряется впускное давление. На практике измерение потока газа с достаточной точностью может быть затруднено, по этой причине описаны два других метода, при которых прямое измерение потока газа не используется.

Метод двух манометров - это определение быстроты действия, который используется при небольшой величине потока и малых впускных давлениях (при высоком и сверхвысоком вакууме). Он основан на измерении перепада давлений на диафрагме с круглым отверстием, разделяющей измерительную камеру на две части, в каждой из которых установлен манометрический преобразователь или манометр абсолютного давления.

Метод постоянного объема - это определение быстроты действия подходит для автоматизированного измерения. Он базируется на известной зависимости времени вакуумирования объема от параметров процесса вакуумирования: отношения давлений в начале и конце интервала вакуумирования, величины объема, времени вакуумирования.

Различные воздействия, такие как натекание и десорбция, охлаждение газа почти до изоэнтропического расширения в интервале откачки и увеличение газокинетического сопротивления в линии соединения между измерительной камерой и насосом, вызванные изменением режимов течения газа в соединительных коммуникациях при низких давлениях, влияют на измерение давления и, в результате, на быстроту действия.

При выборе метода определения необходимо учитывать специфику (вакуумного насоса) и технические характеристики: например, измерение наибольшего выпускного давления необходимо только для насоса, который работает с форвакуумным насосом. Измерения характеристик вакуумного насоса, не описанные в настоящей части стандарта (например, измерение потребляемой мощности), определяются стандартом на конкретный тип вакуумного насоса.