Метод основан на распылении пробы и переносе аэрозоля в плазменную горелку, в которой происходит возбуждение атомов элементов в аргоновой плазме, индуктивно возбуждаемой радиочастотным полем, приводящее к характеристическому эмиссионному спектру. Интенсивность спектральных линий в получаемом эмиссионном спектре регистрируется детектором, сигналы которого обрабатываются при помощи компьютерной программы. Влияние фона учитывают путем его коррекции.
Мешающие влияния, иначе называемые матричными эффектами, и способы их устранения приведены в приложении ДВ.