ГОСТ 33518-2015 (ISO 5302:2003) Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение рабочих характеристик (с Поправкой)

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ 5197, а также следующие термины с соответствующими определениями:

3.1 наибольшее выпускное давление p (critical backing pressure): Максимальное выпускное давление p, при котором насос имеет степень сжатия p/p2 и при котором идет истечение потока газа (выхлоп).

Примечание - p - высоковакуумное давление на входе насоса - впускное давление.

3.2 максимальная производительность Q, Па·м/с [мбар·л/с] (maximum throughput): Максимальный поток газа, который может откачиваться бесперебойно.

Примечание - Предельные параметры зависят от конструкции насоса. В большинстве случаев они указываются как максимальная температура на определенном участке. Значение Q зависит от откачиваемого газа, используемого форвакуумного насоса, условий охлаждения и т.д.

3.3 быстрота действия q (volume flow rate): Скорость объемного потока, то есть скорость изменения объема газа в единицу времени.

Примечания

1 На практике быстрота действия данного насоса для данного газа условно принимается равной отношению производительности насоса для данного газа к равновесному давлению в определенном месте. Единицы измерения, принятые для быстроты действия (м/ч) или (л/с).

2 Вместо "быстроты действия" часто используется термин "скорость откачки" и символ "S".

3.4 предельное остаточное давление (ultimate pressure): Величина, к которой асимптотически стремится давление в измерительной камере.

Примечания

1 Это самое низкое давление, создаваемое насосом.

2 Рекомендуется не указывать значение предельного остаточного давления в инструкции производителя. Поэтому в данном стандарте не указывается методика измерения предельного остаточного давления. Однако если производитель указывает предельное остаточное давление, то также следует указать и рабочие условия, при которых производится измерение.

3.5 минимальное рабочее давление p (minimum operational pressure): Давление, получаемое в измерительной камере спустя 48 ч, после ее обезгаживания.

3.6 степень сжатия K (compression ratio): Отношение давления на выпускном фланце p к давлению на впускном фланце p турбомолекулярного насоса.

.

Примечание - Для получения степени сжатия при нулевой быстроте действия K, для указанного газа, парциальное давление этого газа в выпускном патрубке должно быть, по крайней мере, 90% от p.

3.7 максимальное рабочее давление p (maximum working pressure): Максимальное давление во входном сечении, при котором турбомолекулярный насос и приводное устройство могут безаварийно работать в течение длительного времени.