Настоящий стандарт определяет методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных насосов. Он применяется для всех типоразмеров турбомолекулярных насосов с механическими или магнитными подшипниками; и с или без дополнительной молекулярной ступени.
Примечание - Для работы турбомолекулярных насосов требуются форвакуумные насосы, их рабочие характеристики невозможно окончательно определить без следующих значений характеристик, дополнительно к кривой быстроты действия относительно впускного давления:
- кривой производительности;
- кривой степени сжатия;
- кривой изменения давления на входе для всего диапазона и для различных газов.