4.1 Рабочие эталоны 1-го разряда
4.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют эталонные приборы (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, контактные профилометры) и эталонные меры шероховатости.
4.1.2 Пределы допускаемых относительных погрешностей рабочих эталонов 1-го разряда не должны превышать 3% в диапазоне от 0,001 до 0,1 мкм, 2% в диапазоне от 0,1 до 1 мкм и составлять от 1% до 0,02% в диапазоне от 1,0 до 3000 мкм.
4.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда методом прямых измерений.
4.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
4.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют эталонные приборы (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, контактные профилометры) и эталонные меры шероховатости.
4.2.2 Пределы допускаемых относительных погрешностей рабочих эталонов 2-го разряда не должны превышать 6% в диапазоне от 0,001 до 0,1 мкм, 4% в диапазоне от 0,1 до 1 мкм и составлять от 2% до 0,08% в диапазоне от 1 до 3000 мкм.
4.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда и рабочих средств измерений методом прямых измерений.
4.3 Рабочие эталоны 3-го разряда
4.3.1 В качестве рабочих эталонов 3-го разряда применяют эталонные приборы (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, контактные профилометры) и эталонные меры шероховатости.
4.3.2 Пределы допускаемых погрешностей рабочих эталонов 3-го разряда не должны превышать 12% в диапазоне от 0,001 до 0,1 мкм, 8% в диапазоне от 0,1 до 1 мкм и составлять от 4% до 0,2% в диапазоне от 1 до 3000 мкм.
4.3.3 Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений методом прямых измерений.