ГОСТ 8.296-2015 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм (с Поправками)

     2 Государственный первичный специальный эталон

2.1 ГЭТ предназначен для воспроизведения и хранения единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм и передачи единицы с помощью вторичных эталонов и рабочих эталонов рабочим средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

2.2 В основу измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм должна быть положена единица, воспроизводимая ГЭТ.

2.3 ГЭТ состоит из четырех эталонных установок:

- в диапазоне от 0,001 до 50 мкм из модернизированного сканирующего зондового микроскопа "НаноСкан-3Di";

- в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм из модернизированного автоматизированного интерференционного микроскопа МИА-М1;

- в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм из модернизированного прецизионного контактного профилометра нанометрового диапазона Talystep;

- в диапазоне от 1,0 до 3000 мкм из модернизированного контактного широкодиапазонного профилометра Form TalySurf.

2.4 Диапазон воспроизводимых ГЭТ значений длины, соответствующих параметрам шероховатости Rmax, Rz, составляет от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм.

2.5 ГЭТ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров шероховатости:

- Rmax и Rz в диапазоне от 0,001 до 50 мкм; Ra - от 0,001 до 12,5 мкм со средним квадратическим отклонением результата измерений , не превышающим 0,0002 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 0,0014 мкм;

- Rmax и Rz в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм; Ra - от 0,001 до 0,75 мкм со средним квадратическим отклонением результата измерений , не превышающим 0,0002 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 0,0013 мкм;

- Rmax и Rz в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм; Ra - от 0,006 до 0,025 мкм со средним квадратическим отклонением результата измерений , не превышающим 0,0015 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 0,0012 мкм;

- Rmax и Rz в диапазоне от 1 до 3000 мкм; Ra - от 0,4 до 750 мкм со средним квадратическим отклонением результата измерений , не превышающим 0,04 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 0,013 мкм.

При этом стандартная неопределенность, оцененная по типу А, составляет:

- в диапазоне от 0,001 до 50 мкм - 0,2·10 мкм;

- в диапазоне от 0,0015 до 3 мкм - 0,2·10 мкм;

- в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм - 1,5·10 мкм;

- в диапазоне от 1 до 3000 мкм - 4,0·10 мкм.

Стандартная неопределенность, оцененная по типу В, составляет:

- в диапазоне от 0,001 до 50 мкм - 1,4·10 мкм;

- в диапазоне от 0,0015 до 3 мкм - 1,3·10 мкм;

- в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм - 1,2·10 мкм;

- в диапазоне от 1 до 3000 мкм - 1,3·10 мкм.

Суммарная стандартная неопределенность составляет:

- в диапазоне от 0,001 до 50 мкм - 1,4·10 мкм;

- в диапазоне от 0,0015 до 3 мкм - 1,3·10 мкм;

- в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм - 1,9·10 мкм;

- в диапазоне от 1 до 3000 мкм - 4,2-10 мкм.