ГОСТ Р ИСО 14644-8-2014 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8. Классификация чистоты воздуха по концентрации химических загрязнений

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:

3.1 Общие термины

3.1.1 химические загрязнения (chemical contamination): Вещества (не частицы), которые могут оказать отрицательное влияние на продукт, процесс или оборудование.

3.1.2 чистота воздуха по концентрации химических загрязнений; АСС (air cleanliness by chemical concentration; АСС): Уровень, выраженный как ИСО класс N, равный максимально допустимой концентрации данного химического загрязнения или группы загрязнений, выраженной в граммах на кубический метр (г/м).

Примечание - Это определение не включает макромолекулы биологического происхождения, рассматриваемые как частицы.

3.1.3 химические загрязнения воздуха (air chemical contamination): Любое вещество в воздухе, которое может химическим путем негативно воздействовать на продукт, процесс или оборудование.

3.1.4 чистота поверхности по концентрации химических загрязнений; SCC (surface cleanliness by chemical concentration, SCC): Чистота поверхности, характеризуемая концентрацией химических загрязнений на ней.

3.1.5 химическое загрязнение поверхности (surface chemical contamination): Любое вещество на поверхности, которое может химическим путем негативно воздействовать на продукт, процесс или оборудование.

3.1.6 вид загрязнения (contaminant category): Общее наименование группы загрязнений, которые оказывают специфическое или отрицательное воздействие при оседании их на поверхность.

3.1.7 выделение (outgassing): Выделение материалом газов или паров.

3.1.8 класс чистоты воздуха по концентрации химических загрязнений (air cleanliness by chemical concentration class): Классификационное число, соответствующее максимально допустимой концентрации химического загрязнения или группы загрязнений в г/м.

Примечания

1 Максимально допустимые концентрации определяют по таблице 1 или вычисляют по формуле для N, приведенной в 4.2.

2 Классификация согласно настоящему стандарту ограничена диапазоном от 0 (класс с наименьшим допустимым уровнем чистоты) до -12 (класс с самым высоким установленным уровнем чистоты).

3 АСС-класс имеет силу только вместе со специальным АСС-обозначением, которое указывает, относительно какого химического загрязнения или группы загрязнений данный АСС-класс определен.

4 Отрицательный знак перед числом класса чистоты воздуха по концентрации химических загрязнений (от -1 до -12) обозначает интегральную часть АСС-класса N и должен быть указан всегда. Обозначение АСС-класса N без отрицательного знака перед ним не допускается (за исключением класса 0).

5 Промежуточные классы ИСО могут быть заданы с минимальным допустимым приращением 0,1.

3.2 Виды загрязнений

3.2.1 кислота (acid): Вещество, которое при химической реакции образует новое соединение, выступая акцептором электронных пар.

3.2.2 основание (base): Вещество, которое при химической реакции образует новое соединение, выступая донором электронных пар.

3.2.3 биотоксин (biotoxic): Загрязняющее вещество, которое оказывает неблагоприятное воздействие на развитие и жизнедеятельность организмов, микроорганизмов, тканей или отдельных клеток.

3.2.4 конденсирующееся загрязнение (condensable): Вещество, которое может оседать на поверхности в чистом помещении в эксплуатируемом состоянии путем конденсации.

3.2.5 коррозионно-опасное загрязнение (corrosive): Вещество, оказывающее разрушающее химическое воздействие на поверхность.

3.2.6 примесь (dopant): Вещество, которое после осаждения и/или диффузии проникает в материал продукта и способно изменить свойства материала, даже если оно присутствует в виде следов (в малых количествах).

3.2.7 органическое загрязнение (organic): Вид загрязнения на основе углеродсодержащих соединений.

3.2.8 окислитель (oxidant): Вещество, которое после осаждения на поверхность или продукт приводит к образованию оксидов или участвует в реакции окисления.