ГОСТ 8.645-2014 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Государственная поверочная схема для средств измерений комплексного показателя преломления (с Поправками)

     5 Рабочие средства измерений

В качестве рабочих средств измерений применяют:

- эллипсометры с диапазонами измерений для действительной части от 0,5 до 5,0 и для мнимой части от 0,01 до 8,0.

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений составляют для действительной части от 0,004 до 0,005 и для мнимой части от 0,01 до 0,03;

- спектральные рефлектометры с диапазоном измерения для действительной части от 0,5 до 5,0 и для мнимой части от 0,01 до 8,0.

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений составляют для действительной части от 0,01 до 0,02 и для мнимой части от 0,02 до 0,03;

- спектрофотометры, с возможностью измерения и , с диапазоном измерения для действительной части от 0,5 до 5,0 и для мнимой части от 0,01 до 8,0.

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений составляют для действительной части от 0,01 до 0,03 и для мнимой части от 0,01 до 0,03.