ГОСТ 8.645-2014 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Государственная поверочная схема для средств измерений комплексного показателя преломления (с Поправками)

     4 Рабочие эталоны

4.1 Рабочие эталоны 1-го разряда

4.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют меры комплексного показателя преломления однослойные в виде однослойных пленок из различных материалов, нанесенных на подложки, в диапазонах для действительной части от 0,5 до 5,0 и для мнимой части от 0,01 до 8,0, и эталонные установки в виде многоугловых спектральных эллипсометров в диапазонах для действительной части от 0,5 до 5,0 и для мнимой части от 0,01 до 8,0.

4.1.2 Доверительные абсолютные погрешности рабочих эталонов 1-го разряда при доверительной вероятности р=0,95 составляют для действительной части 0,0025 и для мнимой части 0,0045.

4.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для передачи единиц рабочим эталонам 2-го разряда и рабочим средствам измерений методом прямых измерений.

4.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

4.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют меры комплексного показателя преломления многослойные в виде многослойных пленок из различных материалов, нанесенных на подложки, в диапазонах для действительной части от 0,5 до 5,0 и для мнимой части от 0,01 до 8,0.

4.2.2 Доверительные абсолютные погрешности рабочих эталонов 2-го разряда при доверительной вероятности р=0,95 составляют для действительной части 0,003 и для мнимой части 0,005.

4.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для передачи единиц рабочим средствам измерений в виде эллипсометров, спектральным рефлектометрам и спектрофотометрам, с возможностью измерения и , методом прямых измерений.