ГОСТ 8.645-2014 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Государственная поверочная схема для средств измерений комплексного показателя преломления (с Поправками)

     3 Государственный первичный эталон

3.1 Государственный первичный эталон применяют для воспроизведения и хранения единиц комплексного показателя преломления и передачи единиц с помощью рабочих эталонов рабочим средствам измерений

3.2 Государственный первичный эталон состоит:

- из цифрового спектрального эллипсометра;

- эталонных мер комплексного показателя преломления однослойных и многослойных в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивных заготовок из кремния и других материалов - для контроля стабильности эталона;

- интерференционного компьютерного профилометра для контроля плоскостности рабочей поверхности эталонных мер;

- автоматизированного интерференционного микроскопа для контроля параметров шероховатости супергладких рабочей поверхности эталонных мер;

- цифровой метеостанции для измерения параметров окружающей среды;

- системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

3.3 Диапазон значений комплексного показателя преломления, , в котором воспроизводятся единицы, составляет:

- для действительной части (показатель преломления) от 0,5 до 5,0;

- для мнимой части (главный показатель поглощения) от 0,01 до 8,0.

3.4 Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единиц со средним квадратическим отклонением результата измерений, не превышающим 0,001 для действительной части и 0,002 для мнимой части при 50 независимых измерениях.

Неисключенная систематическая погрешность не превышает 0,0007 для действительной части и 0,0004 для мнимой части .

Стандартная неопределенность:

оцененная по типу А - = 0,001, = 0,002;

оцененная по типу В - = 0,0007, = 0,0004;

Суммарная стандартная неопределенность:

= 0,001, = 0,002.

Расширенная неопределенность при коэффициенте охвата К=2:

= 0,002, = 0,004.

3.5 Для обеспечения воспроизведения единиц комплексного показателя преломления с указанной точностью следует соблюдать правила содержания и применения эталона, утвержденные в установленном порядке.

3.6 Государственный первичный эталон применяют для передачи единиц комплексного показателя преломления рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.