Используют систему из оптических компонентов для создания пятна монохроматического (полная ширина полосы по уровню полумаксимума менее 100 нм) устойчивого излучения, большего по диаметру торцевой поверхности образца и с числовой апертурой более числовой апертуры образца.
Если не указано иное, центральная длина волны должна быть (850±25) нм. Проводят контроль выравнивания торцевой поверхности. Оптические фильтры могут быть использованы для ограничения ширины спектра источника.