ГОСТ Р 54843-2011

     

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Изделия микросистемной техники

ЭЛЕМЕНТЫ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН

Общие технические условия

Microsystem technology products. Sensitive elements of microelectromechanical transducers of physical quantities. Generic specifications

ОКС 31.200

Дата введения 2013-09-01

     

Предисловие

1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом "Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт" (ОАО "РНИИ "Электронстандарт") совместно с Открытым акционерным обществом "ГИРООПТИКА" (ОАО "ГИРООПТИКА")

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 303 "Изделия электронной техники, материалы и оборудование"

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 13 декабря 2011 г. N 1254-ст.

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Правила применения настоящего стандарта установлены в ГОСТ Р 1.0-2012 (раздел 8). Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (gost.ru)

     1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на чувствительные элементы (далее - ЧЭ), разрабатываемые и поставляемые в качестве компонентов микроэлектромеханических преобразователей физических величин (далее - преобразователей) производственно-технического назначения.

Настоящий стандарт не распространяется на ЧЭ, предназначенные для применения в пьезоэлектрических приборах.

В соответствии с настоящим стандартом разрабатывают технические условия на конкретные типы ЧЭ (далее - ТУ).

     2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ Р 8.563-96 Государственная система обеспечения единства измерений. Методики выполнения измерений

ГОСТ Р 15.201-2000 Система разработки и постановки продукции на производство. Продукция производственно-технического назначения. Порядок разработки и постановки продукции на производство

ГОСТ Р ИСО 9001-2008 Системы менеджмента качества. Требования

ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002* Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха

________________

* Вероятно, ошибка оригинала. Следует читать: ГОСТ ИСО 14644-1-2002, здесь и далее по тексту. - Примечание изготовителя базы данных.

ГОСТ Р 51672-2000 Метрологическое обеспечение испытаний продукции для целей подтверждения соответствия. Основные положения

ГОСТ Р 53711-2009 Изделия электронной техники. Правила приемки

ГОСТ 2.102-68 Единая система конструкторской документации. Виды и комплектность конструкторских документов

ГОСТ 2.601-2006 Единая система конструкторской документации. Эксплуатационные документы

ГОСТ 2.608-78 Единая система конструкторской документации. Порядок записи сведений о драгоценных материалах в эксплуатационных документах

ГОСТ 20.57.406-81 Комплексная система контроля качества. Изделия электронной техники, квантовой электроники и электротехнические. Методы испытаний

ГОСТ 21493-76 Изделия электронной техники. Требования по сохраняемости и методы испытаний

ГОСТ 24297-87 Входной контроль продукции. Основные положения

ГОСТ 23088-80 Изделия электронной техники. Требования к упаковке, транспортированию и методы испытаний

ГОСТ 25359-82 Изделия электронной техники. Общие требования по надежности и методы испытаний

ГОСТ 25467-82 Изделия электронной техники. Классификация по условиям применения и требования по стойкости к внешним воздействующим факторам

ГОСТ 30668-2000 Изделия электронной техники. Маркировка

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии по стандартизации в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты" за текущий год. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с указанным выше годом утверждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение рекомендуется применять без учета данного изменения, Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не затрагивающей эту ссылку.

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:

3.1 микроэлектромеханический преобразователь физических величин: Измерительный преобразователь, выполненный на основе механических и электронных устройств с применением микросистемных технологий и нанотехнологий.

3.2 измерительный преобразователь: Устройство, используемое при измерении, которое обеспечивает на выходе величину, находящуюся в определенном соотношении с входной величиной.

3.3 чувствительный элемент микроэлектромеханического преобразователя физических величин: Механическое микроустройство, изменяющее свои параметры под воздействием измеряемой физической величины и обеспечивающее формирование электрического измерительного сигнала в составе измерительной цепи микроэлектромеханического преобразователя.

3.4 ось чувствительности: Прямая линия, определяемая конструкцией чувствительного элемента, на которую проецируется вектор воздействующей физической величины и относительно которой нормируются параметры чувствительного элемента.

3.5 диапазон измерений физической величины: Область значений измеряемой физической величины, в пределах которой нормированы значения выходных параметров ЧЭ.

3.6 диапазон изменения выходного параметра: Область значений выходного параметра ЧЭ, ограниченная крайними значениями диапазона измерения физической величины.

3.7 смещение нуля: Значение выходного параметра, отличное от нуля, при отсутствии воздействия физической величины.

3.8 дрейф смещения нуля: Изменение значения смещения нуля во времени, обусловленное изменением внешних воздействующих факторов или параметров элементов конструкции ЧЭ.

3.9 порог чувствительности: Минимальное значение измеряемой физической величины относительно нулевого значения, вызывающее закономерное изменение выходного параметра ЧЭ.

     4 Классификация, основные параметры и размеры

4.1 ЧЭ подразделяют по следующим классификационным признакам:

- виду измеряемой физической величины (воздействия);

- виду выходного параметра.

4.2 По виду входного сигнала ЧЭ подразделяют на воспринимающие следующие физические величины (воздействия):

- скорость угловая;

- ускорение линейное;

- давление.

Примечание - Вид давления, воспринимаемого ЧЭ, указывают в ТУ.

4.3 По виду выходного параметра ЧЭ подразделяют на ЧЭ со следующими видами выходного параметра:

- электрическая емкость;

- электрическое сопротивление;

- индуктивность.

Примечание - В составе преобразователя номенклатура выходных параметров ЧЭ может быть расширена.

4.4 К основным параметрам ЧЭ относят следующие:

- диапазон измерений физической величины;

- диапазон изменения выходного параметра;

- смещение нуля;

- дрейф смещения нуля;

- порог чувствительности.

Примечание - В составе преобразователя номенклатура основных параметров ЧЭ может быть расширена.

4.5 Основные размеры ЧЭ должны соответствовать значениям, устанавливаемым в ТУ.

4.6 Условное обозначение ЧЭ при заказе и в конструкторской документации другой продукции должно состоять из слов "элемент чувствительный", обозначения типа ЧЭ и обозначения соответствующих ТУ. Обозначение типа ЧЭ должно состоять из четырех элементов:

- первый элемент - буква, обозначающая условное наименование:

Э - элемент чувствительный;

- второй элемент - буква, обозначающая вид входного сигнала:

С - скорость угловая;

У - ускорение линейное;

Д - давление.

- третий элемент - буква, обозначающая вид выходного параметра:

Е - электрическая емкость;

С - электрическое сопротивление;

И - индуктивность.

- четвертый элемент - цифра, обозначающая номер разработки конкретного варианта исполнения.

В обозначении типа ЧЭ между третьим и четвертым элементами проставляют дефис.

Пример - Условное обозначение ЧЭ, изменяющего под воздействием скорости выходную электрическую емкость, номер разработки конкретного варианта исполнения 1:

Элемент чувствительный ЭСЕ-1 ...ТУ.

Условное обозначение конкретного типа ЧЭ приводят в ТУ.

     5 Технические требования

5.1 Общие требования

ЧЭ должны быть изготовлены в соответствии с требованиями настоящего стандарта и ТУ по конструкторской и технологической документации, утверждаемой в установленном порядке.

5.2 Требования к конструкции