ГОСТ Р ИСО 21501-4-2012 Получение распределения частиц по размерам. Оптические методы оценки отдельных частиц. Часть 4. Счетчики частиц в воздухе для чистых зон, работающие на принципе рассеяния света

     4.1 Калибровка по размерам частиц

При калибровке счетчика частицами с известными размерами медианы кривой напряжения (или внутренний канал анализатора высоты импульсов - АВИ) соответствует размеру частицы (см. рисунок 1). Медиану кривой напряжения (или внутренний канал АВИ) следует определять с использованием счетчика частиц с изменяемой установкой пределов напряжения (или внутреннего канала АВИ). Медиана кривой напряжения (или внутренний канал АВИ) представляет собой напряжение (или внутренний канал АВИ), которое делит пополам общее число сосчитанных импульсов. При отсутствии счетчика частиц с изменяемой установкой пределов напряжения вместо него может быть использован АВИ.

- высота импульса напряжения (или канал); - плотность распределения; 1 - распределение высоты импульсов (для частиц PSL); - нижний предел напряжения; - медиана напряжения; - верхний предел напряжения

Рисунок 1 - Распределение высоты импульсов для частиц PSL

Шумы воспринимаются как счет множества маленьких частиц. В этом случае медиану кривой напряжения (или внутренний канал АВИ) следует определить исключением импульсов, появившихся из-за ложного счета [см. рисунок 2а)]. Исключение выполняется только в том случае, когда пиковая плотность распределения превышает более чем в два раза плотность на равнинном участке, который отделяет этот пик от импульсов из-за ложного счета [см. рисунок 2b)]. В этом случае напряжение превышает медиану напряжения , для которого плотность распределения та же, что и для . Медиану напряжения вычисляют только для числа частиц между пределами напряжения и .

- напряжение высоты импульсов (или канал); - плотность распределения; 1 - распределение высоты импульсов для частиц PSL; 2 - шум (ложный счет частиц, маленькие частицы и/или оптический и электронный шум); - нижний предел напряжения; - медиана напряжения; - верхний предел напряжения

     
Рисунок 2 - Распределение высоты импульсов для частиц PSL

Следует определить напряжения каналов, соответствующих размерам частиц, по кривой калибровки, предоставляемой изготовителем счетчика (см. рисунок 3).

     
- размер частиц; - медианное значение для частиц для калибровки; 1 - кривая калибровки; - медиана напряжения, соответствующая размеру частиц ; - медиана напряжения, соответствующая размеру частиц ; - медиана напряжения, соответствующая размеру частиц

     
Рисунок 3 - Кривая калибровки

Примечание - Если медиана напряжения определяется с помощью внешнего АВИ, то отклонения напряжения в АВИ и счетчике включены в пределы напряжения счетчика (см. приложение А).