ГОСТ Р 8.744-2011/ISO/TR 14999-3:2005 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Оптика и фотоника. Интерференционные измерения оптических элементов и систем. Часть 3. Калибровка и аттестация интерферометров, методика измерений оптических волновых фронтов

     5.2 Сферы

5.2.1 Общие сведения

Оптическое качество вогнутого или выпуклого волновых фронтов может быть определено по отношению к физически реализованной сферической поверхности, откалиброванной по задаваемым параметрам, т.е. с известным оптическим качеством. При этом следует иметь в виду когерентность излучения источника. Как сферический волновой фронт, так и сферическая эталонная поверхность имеют центры кривизны.

Для получения требуемой интерференционной картины оба центра кривизны следует расположить как можно ближе друг к другу. Пользователь может добиться этого юстировкой плеч интерферометра.

5.2.2 Настройка интерферометра по идеальному эталону

Каждая разъюстировка центров кривизны приводит к интерференционной картине, свидетельствующей о появлении разности хода между сферическими волновыми фронтами.

При юстировке интерферометра могут формироваться следующие интерференционные картины:

- оба центра кривизны расположены один за другим на оптической оси: интерферограмма представляет собой совокупность концентрических колец;

- оба центра кривизны лежат в одной плоскости, перпендикулярной оптической оси: результат - интерференционная картина Юнга, т.е. совокупность прямолинейных полос;

- один из центров кривизны расположен не на оптической оси и не в той же плоскости, что и второй центр: интерференционная картина в виде эллипсов или парабол.

При настройке интерферометра следует добиваться картины в виде концентрических полос, учитывая, что:

- расстояние между кольцами возрастает, когда оба центра кривизны приближаются друг к другу;

- полоса нулевого порядка имеет место при совмещении центров кривизны;

- оставшиеся после юстировки интерференционные полосы соответствует дефектам контролируемого образца.

5.2.3 Оценка качества эталона

Метод "трех сфер" позволяет определить качество сферического эталона так же, как метод "трех плоскостей" позволяет сделать то же самое применительно к плоскому эталону (см. также 6.3).

Оптическое производство позволяет изготовить сопряженные пары вогнутых и выпуклых сферических эталонов одинакового радиуса путем их совместной полировки. Процедура оценки их качества та же, что и для плоских эталонов.

5.2.4 Альтернативный метод