Таблица 1 - Обозначения и единицы измерений
Обозначение | Параметр | Единица измерений | Источник, в котором приведено определение |
, | Распределение плотности мощности (энергии) | Вт/см, Дж/см | ИСО 13694 |
, , | Механические оси (декартовы координаты) | мм | ИСО 15367-1:2003 (пункт 3.1.5) |
Ось пучка | мм | ИСО 15367-1:2003 (пункт 3.1.5) | |
Длина волны | нм | - | |
Местоположение (координата) плоскости измерений | мм | ИСО 15367-1:2003 (пункт 3.1.4) | |
Усредненная форма волнового фронта | нм | ИСО 15367-1:2003 (пункт 3.1.1) | |
Распределение фазы | рад | ИСО 15367-1:2003 (примечание 1 к пункту 3.1.1) | |
Скорректированный волновой фронт | нм | ИСО 15367-1:2003 (пункт 3.4.2) | |
Аппроксимирующая сферическая поверхность | - | ИСО 15367-1:2003 (пункт 3.4.3) | |
Расфокусировка или радиус наилучшей сферы | мм | ИСО 15367-1:2003 (пункт 3.4.5) | |
Функция аберраций волнового фронта | нм | ИСО 15367-1:2003 (пункт 3.4.6) | |
Нерегулярность волнового фронта | нм | ||
Взвешенная средняя квадратическая деформация | нм | ИСО 15367-1:2003 (пункт 3.4.7) | |
, | Расстояния между элементами матрицы | мм | 3.1 |
Расстояние между экраном с субапертурами и матричным приемником излучения | мм | 3.2 | |
Фокусное расстояние микролинз | мм | 3.3 | |
Размер пятна | мкм | ||
Ширина субапертуры | мкм | 3.4 | |
Угловой динамический диапазон | мрад | 3.5 | |
Координаты центроида в субапертуре , , т.е. моменты первого порядка распределения плотности мощности в субапертуре , | мм | ИСО 11146-1 | |
Референтные (опорные) координаты пучка в субапертуре , | мм | ||
Локальные компоненты градиента волнового фронта | - | ИСО 15367-1:2003 (пункты 3.5.1, 3.5.3) | |
Воспроизводимость результатов измерений волнового фронта | нм | 3.6 | |
Погрешность измерений волнового фронта | нм | 3.7 | |
Геометрическая матрица алгоритма реконструкции волнового фронта | - | ||
Ковариантная матрица | - |