ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов

     5.4 Измерение базового давления

5.4.1 Условия испытаний

Условия испытаний вакуумного насоса (частота вращения, жидкость для смазки, охлаждение и т.д.) должны быть указаны производителем, температура окружающей среды - сохраняться в пределах ±1,5 °С в интервале от 18 °С до 25 °С.

Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:

а) в соответствии со специальными стандартами по вакууму или с национальным стандартом;

б) с помощью приборов для абсолютных измерений в международной системе единиц.

Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки согласно ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025.

Для данного измерения используют расположение приборов, показанное на рисунках 2, 4 и 6.

5.4.2 Методика испытаний для насосов с базовым давлением более 10 Па

Измерительную камеру откачивают при закрытых клапанах напуска газа в течение 1-2 ч, пока не будут достигнуты дальнейшее снижение давления в камере и устойчивая рабочая температура насоса.

Если ожидаемое базовое давление находится между 10 и 10 Па, измерительная камера нагревается более 3 ч до 120 °С. Если насос оборудован устройством для обезгаживания, этот процесс осуществляется прогревом в соответствии с инструкцией производителя. Обезгаживание насоса и измерительной камеры завершается одновременно.

Давление , измеряемое через 1 ч после установления в насосе и измерительной камере устойчивой рабочей температуры, является базовым .

5.4.3 Методика испытаний для насосов с базовым давлением менее 10 Па

Во время установки измерительной камеры (см. рисунок 2) необходимо соблюдать требования, предъявляемые к технологиям сверхвысокого вакуума.

Через 1 ч после запуска насоса измерительную камеру нагревают до максимальной температуры от 150 °С до 300 °С. Если насос оборудован устройством для обезгаживания, этот процесс осуществляется прогревом в соответствии с инструкцией производителя. Температура верхней части вакуумного насоса должна контролироваться в пределах, установленных этой инструкцией.

Обезгаживание вакуумного насоса и измерительной камеры прекращается одновременно, когда достигается давление, в 100 раз превышающее ожидаемое базовое давление, но не позднее чем через 48 ч прогрева. Процедура обезгаживания приведена в отчете по испытанию. Ионизационный манометр дегазируется в соответствии с рекомендациями производителя во время и в конце процесса не позднее чем за 2 ч до начала измерения. Одновременно фиксируется давление в выходном сечении насоса .

Давление в камере, измеряемое через 48 ч после окончания обезгаживания прогревом, является базовым для вакуумного насоса. Изменение функции давления от времени не должно быть положительным.

5.4.4 Оценка измерения

Отчет по испытанию включает процедуру нагрева (время и температуру) и базовое давление, которое необходимо для вычисления степени сжатия и быстроты действия.