ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов

     5.1 Измерение быстроты действия методом постоянного потока

5.1.1 Общие положения

Метод постоянного потока применяется для всех диапазонов давления и габаритов вакуумных насосов, где измерение быстроты действия возможно с достаточной точностью. Диапазон измерения производительности выбирается умножением ожидаемой быстроты действия на максимальное и минимальное рабочее давление испытуемого насоса.

Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:

а) в соответствии со специальными стандартами по вакууму или с национальным стандартом;

б) с помощью приборов для абсолютных измерений в международной системе единиц.

Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки в соответствии с ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025.

5.1.2 Измерительная камера для метода постоянного потока

Для данных измерений следует применять измерительную камеру, как показано на рисунке 1, с номинальным диаметром впускного фланца , равным диаметру впускного отверстия фланца насоса. Верхняя часть камеры напротив впускного фланца может быть плоской, конической или слегка закругленной, с такой же средней высотой над фланцем, как для плоской поверхности. Желательно использовать три фланца для измерения давления на высоте /2 над нижним фланцем, если применяются более одного вакуумметра. Диаметр этих фланцев должен быть равен диаметру фланцев используемых вакуумметров (или больше их), и должны быть указаны их присоединительные размеры. Нельзя располагать измерительный проход под углом (в радиусе) ±45° рядом с впускным проходом для газа. Соединительные каналы между фланцем и камерой не должны выходить за пределы стенки камеры с внутренней стороны, за исключением впускной газовой трубы.

1 - патрубок напуска газа и место измерения температуры ; 2 - патрубок для подсоединения вакуумметра и масс-спектрометра; - внутренний диаметр измерительной камеры, м; - номинальный диаметр входа переходника, равный впускному отверстию фланца насоса

Рисунок 1 - Измерительная камера

Если необходимо для испытуемого насоса, измерительная камера должна быть оснащена устройством для обезгаживания, которое обеспечивает ее равномерное нагревание для достижения базового давления.

Объем измерительной камеры зависит от типа насоса (см. подетально в описании определенного насоса).

Для насосов с номинальным диаметром впускного фланца менее 100 мм диаметр камеры должен соответствовать 100 мм. Переход к впускному фланцу насоса осуществляется с помощью конического переходника с углом конуса 45°, как показано на рисунке 1.

5.1.3 Экспериментальная установка

Измерительная камера (см. рисунок 2) должна быть чистой и сухой. Чистота насоса, уплотнителей и других компонентов должна соответствовать ожидаемому базовому давлению. Из-за узкого диапазона измерения расходомеры с разным диапазоном необходимо подключать последовательно. При ограничении потока можно использовать несколько расходомеров параллельно с клапаном между каждым расходомером и магистралью. Вместо расходомера и клапана следует применять измерители массового расхода с программируемой пропускной способностью, которые комбинируются в параллели на магистрали.

Примечание - Герметичность больших расходомеров часто недостаточна, в связи с чем рекомендуется использовать клапан между ними и магистралью.

1 - измерительная камера; 2 - форвакуумный насос; 3 - испытуемый насос; 4 - клапан напуска газа; 5 - расходомер для измерения ; 6 - вакуумметр для измерения ; 7 - нагревательная рубашка (дополнительно); 8 - вакуумметр для измерения ; 9 - прибор измерения температуры

Примечание - Позиции 2 и 8 используются только с высоковакуумными насосами.

Рисунок 2 - Схема установки для измерения быстроты действия с помощью метода постоянного потока

Ионизационные вакуумметры и масс-спектрометры не рекомендуется устанавливать на одной прямой линии.

ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ - Соблюдать инструкцию производителя по безопасному использованию вакуумного насоса.

5.1.4 Определение быстроты действия

Для измерения быстроты действия , используется метод постоянного потока, для которого производительность устанавливается вне измерительной камеры. Если давление , измеряемое вакуумметром на соответствующей высоте над нижним фланцем (см. рисунок 1), остается постоянным, быстрота действия определяется соотношением

,                                                              (1)

где - базовое давление в измерительной камере (см. 5.4).

Аналогичная формула применяется для определения быстроты действия форвакуумного насоса