Метод основан на измерении линейчатых атомно-эмиссионных спектров определяемых элементов, возбуждаемых в индуктивно-связанной плазме высокочастотным разрядом. Интенсивность спектральных линий при характеристических для каждого элемента длинах волн регистрируется фоточувствительным устройством, измеряется и обрабатывается компьютерной системой.
За аналитический сигнал принимается разница интенсивности спектральной линии элемента и фона.