Контроль точности результатов измерений проводят по образцовой мере ТКЛР из монокристаллического кремния перед началом серии измерений в соответствии с разделом 7. Допускаемое относительное отклонение измеренного значения от указанного в свидетельстве о поверке значения среднего ТКЛР образцовой меры должно быть не более ±3,0 %.