ГОСТ Р ИСО 14644-8-2008 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8. Классификация молекулярных загрязнений в воздухе (с Поправкой)

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены термины с соответствующими определениями:

3.1 Общие термины

3.1.1 молекулярные загрязнения (molecular contamination): молекулярные образования химической природы (не частицы), которые могут оказать отрицательное влияние на продукт, процесс или оборудование.

3.1.2 молекулярные загрязнения в воздухе (airborne molecular contamination - АМС): молекулярные загрязнения в виде газов или паров, находящиеся в воздухе чистого помещения и контролируемой среды, которые могут оказать отрицательное влияние на продукт, процесс или оборудование.

Примечание - Это определение не распространяется на макромолекулярные образования биологической природы, которые рассматриваются как частицы.

3.1.3 молекулярные загрязнения поверхностей (surface molecular contamination - SMC): молекулярные загрязнения, осевшие на поверхности, которые могут оказать отрицательное влияние на продукт или поверхность в чистом помещении и контролируемой среде.

3.1.4 вид загрязнения (contaminant category): общее наименование веществ, которые оказывают специфическое или отрицательное воздействие при их оседании на поверхность.

3.1.5 выделение (outgassing): выделение материалом газов или паров.

3.2 Виды загрязнений

3.2.1 кислота (acid): вещество, которое при химической реакции образует новое соединение, выступая акцептором электронных пар.

3.2.2 основание (base): вещество, которое при химической реакции образует новое соединение, выступая донором электронных пар.

3.2.3 биотоксин (biotoxic): загрязняющее вещество, которое оказывает неблагоприятное воздействие на развитие и жизнедеятельность организмов, микроорганизмов, тканей или обособленных клеток.

3.2.4 конденсирующееся загрязнение (condensable): вещество, которое может оседать на поверхности в чистом помещении в эксплуатируемом состоянии путем образования конденсата.

3.2.5 коррозионно-опасное загрязнение (corrosive): вещество, оказывающее разрушающее химическое воздействие на поверхность.

3.2.6 примесь (dopant): вещество, которое после осаждения и/или диффузии проникает в материал продукта и способно изменить свойства материала, даже если оно присутствует в виде следов (в малых количествах).

3.2.7 органическое загрязнение (organic): углеводород с наличием или отсутствием кислорода, азота или других элементов.

3.2.8 окислитель (oxidant): вещество (О/О), которое после осаждения на поверхность или продукт приводит к образованию оксидов или участвует в реакции окисления.