ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний (с Поправкой)

     

Приложение В
(справочное)

     
Методы испытаний

В.1 Определение концентрации аэрозольных частиц при классификации и аттестации чистых помещений

B.1.1 Область применения

Рассматриваемый метод предназначен для определения концентрации аэрозольных частиц с пороговыми значениями размеров от 0,1 до 5 мкм.

Концентрация частиц может определяться в любом из трех состояний чистого помещения: построенном, оснащенном и эксплуатируемом.

Определение концентрации частиц выполняется при определении или подтверждении класса чистоты чистого помещения или чистой зоны в соответствии с ИСО 14644-1, или при проведении периодических испытаний в соответствии с ИСО 14644-2. Настоящая методика, приведенная в В.1 (приложение В), заимствована из IEST-G-CC1001:1999 [11] и переработана.

B.1.2 Методика испытаний

B.1.2.1 Общие положения

Определение числа точек отбора проб, расположение этих точек, определение класса чистых зон и необходимое количество данных проводят в соответствии с ИСО 14644-1. В В.1 приводятся стандартные методы отбора проб воздуха в каждой точке отбора проб. Другие методы с эквивалентной точностью, обеспечивающие получение эквивалентных данных, могут использоваться по соглашению между заказчиком и исполнителем. Если не согласован другой метод, то следует применять стандартный метод, приведенный в настоящем приложении.

Примечание - Более подробные данные об испытаниях, проводимых в чистых помещениях с использованием дискретных счетчиков частиц, информация о стандартах, касающихся дискретных счетчиков частиц, а также стандартные методы испытаний приведены в [2], [3], [4], [11], [23], [24].

B.1.2.2 Методика счета аэрозольных частиц

Пробоотборное отверстие дискретного счетчика частиц (далее - счетчика) помещают в место отбора пробы, устанавливают скорость отбора пробы и выбирают пороговые размеры частиц в соответствии с ИСО 14644-1. В зонах с однонаправленным потоком применяется изокинетический пробоотборник [1]. Скорость воздушного потока на входе в пробоотборник не должна отличаться от скорости отбираемого воздуха более чем на 20%. Если это невозможно, то входное отверстие пробоотборника следует направить навстречу преобладающему направлению потока воздуха. В точках, где скорость потока воздуха не контролируется или не предсказуема (например, в случае неоднонаправленного потока), входное отверстие пробоотборника следует направить вертикально вверх. Соединительная трубка, соединяющая пробоотборник и измерительный узел счетчика, должна быть как можно короче. Для отбора проб, содержащих частицы с размерами равными или превышающими 1,0 мкм, длина и диаметр соединительной трубки не должны превышать значений, рекомендуемых изготовителем.

Ошибка при отборе пробы из-за потери мелких частиц за счет диффузии и больших частиц за счет осаждения (импакции) не должна превышать 5%.

B.1.3 Оборудование для счета аэрозольных частиц

Дискретный счетчик частиц [см. С.1 (приложение C)] должен оценивать размеры частиц и считать частицы, дифференцируя по их размерам, соответствующим классу рассматриваемого чистого помещения. Счетчик частиц должен показывать на экране или регистрировать результаты счета частиц, размеры которых соответствуют установленному диапазону, а также иметь действующий сертификат калибровки, как это указано в С.1 (приложение C).

B.1.4 Протокол испытаний

При проведении классификации или аттестации чистого помещения (чистой зоны) в дополнение к пунктам протокола испытаний, указанным в разделе 5, по соглашению между заказчиком и исполнителем, указываются следующие данные:

a) фоновый шум счетчика;

b) тип испытаний: классификация или аттестация (мониторинг);

c) класс чистого помещения (чистой зоны);

d) размеры частиц и результат счета;

e) расход забираемого потока воздуха на входе счетчика и внутри измерительной камеры счетчика;

f) расположение точек отбора проб;

g) протокол отбора проб при классификации или план точек отбора проб при аттестации (мониторинге);

h) состояние(я) чистого помещения или чистой зоны;

i) другие данные, существенные для испытания.

B.2 Определение концентрации ультрамелких аэрозольных частиц

B.2.1 Область применения