4.1.2 Дополнительные методы
В таблице 2 указаны другие методы испытаний чистых помещений. Эти испытания могут проводиться в каждом из трех состояний чистого помещения. Эти методы не являются исчерпывающими. Не все из приведенных методов могут быть включены в программу испытаний. Программа и методы испытаний выбираются по согласованию между заказчиком и исполнителем. Выбранные испытания могут повторяться периодически при текущем контроле (см. ИСО 14644-2). Перечень методов испытаний и руководство по выбору методов приведены в приложении А. Описание методов испытаний приведено в приложении В и имеет лишь общий рекомендательный характер. Детально методы испытаний должны быть разработаны с учетом специфики их конкретного применения.
Таблица 2 - Дополнительные методы для чистых помещений или чистых зон
Контролируемый параметр | Пункт настоящего стандарта | Ссылка на другие стандарты | ||
Область применения | Методика | Обору- | ||
Концентрация ультрамелких аэрозольных частиц | 4.2.1 | В.2 | С.2 | ИСО 14644-1 |
Концентрация аэрозольных макрочастиц | 4.2.1 | В.3 | С.3 | ИСО 14644-1 |
Поток воздуха* | 4.2.2 | В.4 | С.4 | ИСО 14644-1, ИСО 14644-2 |
Перепад давления* | 4.2.3 | В.5 | С.5 | ИСО 14644-1, ИСО 14644-2 |
Целостность установленной системы фильтрации | 4.2.4 | В.6 | С.6 | ИСО 14644-2 |
Направление потока воздуха, визуализация потока | 4.2.5 | В.7 | С.7 | ИСО 14644-2 |
Температура | 4.2.6 | В.8 | С.8 | ИСО 7726 |
Влажность | 4.2.6 | В.9 | С.9 | ИСО 7726 |
Статическое электричество и генерация ионов | 4.2.7 | В.10 | С.10 | |
Осаждение частиц | 4.2.8 | В.11 | С.11 | |
Время восстановления | 4.2.9 | В.12 | С.12 | ИСО 14644-2 |
Герметичность ограждающих конструкций | 4.2.10 | В.13 | С.13 | ИСО 14644-1, ИСО 14644-2 |
* Контроль этих параметров предусмотрен ИСО 14644-2. Дополнительные методы испытаний приведены не в порядке их значимости. Последовательность выполнения испытаний может определяться требованиями нормативных документов или соглашением между заказчиком и исполнителем. |