ГОСТ Р 8.636-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки

     1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее - РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 до 10 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.