ГОСТ Р 8.631-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы электронные растровые. Методика поверки (с Изменением N 1)

     1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее - РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 до 10 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.

(Измененная редакция, Изм. N 1).