ГОСТ Р 8.630-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки (с Изменением N 1)
4 Операции и средства поверки
4.1 При проведении первичной и периодических поверок микроскопа должны быть выполнены операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1.
Таблица 1 - Операции и применяемые средства поверки