ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки (с Изменением N 1)

Наименование операции

Номер
подраздела
настоящего стандарта

Наименование средства поверки и его основные технические
и метрологические характеристики

Внешний осмотр

8.1

Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение не менее 400)

Опробование

8.2

Сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп.

Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение не менее 400).

Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излучения - гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирована по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и определена с относительной погрешностью не более 3·10%. В комплект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала, предназначенные для формирования опорного и информативного лучей, по фазовому сдвигу между которыми определяют перемещение поверяемого элемента в процессе его сканирования атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига - не более 0,002 рад

Определение метрологических характеристик

8.3

Атомно-силовой микроскоп.

Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение не менее 400).

Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излучения - гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирована по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и определена с относительной погрешностью не более 3·10%. В комплект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала, предназначенные для формирования опорного и информативного лучей, по фазовому сдвигу между которыми определяют перемещение поверяемого элемента в процессе его сканирования атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига - не более 0,002 рад.

Средства измерений параметров окружающей среды с абсолютными погрешностями не более:

- температуры окружающей среды - ±0,2 °С;

- относительной влажности воздуха - ±3%;

- атмосферного давления - ±130 Па