ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления (с Изменением N 1)