ГОСТ Р 52615-2006 (ЕН 1012-2:1996) Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ 5197 и ГОСТ ИСО/ТО 12100-1, а также следующие термины с соответствующими определениями:

3.1 вакуум (vacuum): Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного.

Примечание - Давление измеряют в Паскалях (Па), миллибарах (мбар) или в миллиметрах ртутного столба 1 мбар =100 Па, 1 мм рт.ст. =133,322 Па.

3.2 вакуумный насос (vacuum pump): Устройство, предназначенное для создания, повышения и поддержания вакуума.

3.3 форвакуумный насос (backing vacuum pump): Вакуумный насос, предназначенный для поддержания в выходном сечении насоса давления более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки.

3.4 низковакуумный насос (rough vacuum pump): Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме с атмосферного и создающий давление в интервале, характерном для низкого вакуума.

3.5 высоковакуумный насос (high vacuum pump): Вакуумный насос, работающий на ступени самого низкого давления системы, состоящей из двух или более последовательно соединенных насосов.

Примечание - Высоковакуумный насос предназначен для совместной работы с форвакуумным насосом для создания более высокого вакуума.

3.6 вакуумная система (vacuum system): Совокупность взаимосвязанных устройств для создания, повышения и поддержания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также откачиваемых сосудов и связывающих их вакуумных трубопроводов.

Примечание - В настоящем стандарте к вакуумным системам относят откачные посты и вакуумные агрегаты.

3.7 насос объемного действия (positive displacement pump): Механический вакуумный насос, в котором объем, заполненный газом, периодически отсекается от входа насоса и перемещается к его выходу.

3.8 пароструйный насос (vapour jet pump): Вакуумный насос, в котором откачиваемые газы перемещаются за счет высокоскоростной струи пара, направленной в сторону выхода насоса.

3.9 крионасос (cryopump): Вакуумный насос, в котором откачиваемые газы либо конденсируются на поверхности, либо поглощаются адсорбирующим пористым материалом большой рабочей площади, охлажденным до сверхнизкой температуры (криотемпературы) (например, конденсационные и адсорбционные крионасосы).

Примечание - Термин "криотемпература" применяют для температуры ниже 120 К.

3.10 геттерный насос (getter pump): Вакуумный насос, действие которого основано на явлении хемосорбции откачиваемого газа геттером.

Примечание - Геттер - вещество, поглощающее газы.

3.11 магнитный электроразрядный насос (sputter ion pump): Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле.

3.12 молекулярный насос (molecular drag pump): Вакуумный насос, в котором молекулам газа в результате их соприкосновения с поверхностью высокоскоростного ротора сообщается скорость, заставляющая их двигаться в направлении выхода насоса.

3.13 турбомолекулярный насос (turbo-molecular pump): Молекулярный насос, на валу ротора которого закреплены диски с прорезями или лопатками.     

Примечание - Диски ротора вращаются между соответствующими дисками статора. Линейная скорость периферической точки ротора того же порядка, что и скорость молекул газа. Турбомолекулярный насос работает нормально, если имеются условия молекулярного потока.

3.14 вход насоса (pump inlet): Отверстие, через которое откачиваемый газ поступает в насос.

3.15 выход насоса (pump outlet): Выходное или выхлопное отверстие насоса.

3.16 максимальное давление запуска (maximum starting pressure): Максимальное давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать.

3.17 максимальное выпускное давление (maximum backing pressure): Максимальное давление в выходном сечении вакуумного насоса, при котором насос еще осуществляет откачку.

3.18 производительность вакуумного насоса (vacuum pump throughput): Поток газа, протекающий через впускное отверстие насоса в единицу времени.

3.19 максимально допустимое рабочее давление (maximum tolerable working pressure): Максимальное рабочее давление, указываемое изготовителем.

Примечание - Максимальное рабочее давление - впускное давление, соответствующее максимальному расходу газа, который может выдержать насос при условии непрерывной безаварийной работы.

3.20 минимально допустимое рабочее давление (minimum tolerable working pressure): Минимальное рабочее давление, указываемое изготовителем.