1. Определение основано на взаимодействии трихлорсилана с раствором молибдата аммония с образованием синего кремнемолибденового комплекса.
2. Предел обнаружения 15 мкг трихлорсилана в анализируемом объеме раствора.
3. Предел обнаружения в воздухе 0,5 мг/м (расчетная).
4. Определению мешает четыреххлористый кремний в количестве 0,2 мг.
5. Предельно допустимая концентрация трихлорсилана в воздухе 1 мг/м.