Метод основан на разрушении гексаметилдисилазана концентрированной серной кислотой, сплавлении минерального остатка с карбонатной смесью и фотометрическом измерении кремневой кислоты по синему кремнемолибденовому комплексу.
Отбор проб проводится с концентрированием на серную кислоту.
Нижний предел измерения содержания гексаметилдисилазана в фотометрируемом объеме 1,5 мкг (по кремнию - 0,5 мкг, коэффициент пересчета кремния на гексаметилдисилазан - 2,9).
Нижний предел измерения гексаметилдисилазана в воздухе 1 мг/м (при отборе 2 л воздуха).
Диапазон измеряемых концентраций от 1 до 20 мг/м.
Измерению не мешают аммиак, углекислый газ, метиламин.
Измерению мешают другие кремнийорганические соединения.
Суммарная погрешность измерения не превышает ±25%.
Время выполнения измерения, включая отбор проб, около 70 минут.