3.1 Состояния чистого помещения
При определении класса чистоты указывается состояние чистых помещений - "построенное", "оснащенное" или "эксплуатируемое" (2.4).
Примечание - Следует иметь в виду, что состояние "построенное" может применяться к новым или недавно реконструированным чистым помещениям или чистым зонам. После испытаний в состоянии "построенное" дальнейшие испытания выполняются по согласованию с заказчиком в состояниях "оснащенное", "эксплуатируемое" или в обоих состояниях.
3.2 Классификационное число
Чистота помещения по взвешенным в воздухе частицам обозначается классификационным числом . Максимально допустимая концентрация частиц , частиц/м, с размерами, равными или большими заданного размера , для данного класса чистоты определяется по формуле
, (1)
где - классификационное число ИСО, которое не должно превышать значения 9. Промежуточные числа классификации ИСО могут быть определены с наименьшим допустимым приращением , равным 0,1;
0,1 - константа, мкм;
- заданный размер частиц, мкм.
округляется до целого числа, при этом используется не более трех значащих цифр.
В таблице 1 приведены классы чистоты и соответствующие концентрации частиц с размерами, равными или большими заданных размеров. Графическое представление классов чистоты приведено в приложении А (рисунок А.1). Точное значение величины определяется по формуле (1).
Таблица 1 - Классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон
Класс ИСО | Максимально допустимые концентрации частиц, частиц/м, с размерами, равными или большими следующих значений, мкм | |||||
0,1 | 0,2 | 0,3 | 0,5 | 1,0 | 5,0 | |
Класс 1 ИСО | 10 | 2 | - | - | - | - |
Класс 2 ИСО | 100 | 24 | 10 | 4 | - | - |
Класс 3 ИСО | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | - |
Класс 4 ИСО | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | - |
Класс 5 ИСО | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
Класс 6 ИСО | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
Класс 7 ИСО | - | - | - | 352000 | 83200 | 2930 |
Класс 8 ИСО | - | - | - | 3520000 | 832000 | 29300 |
Класс 9 ИСО | - | - | - | 35200000 | 8320000 | 293000 |
Примечание - Из-за неопределенности, связанной с процессом счета частиц, при классификации следует использовать значения концентрации, имеющие не более трех значащих цифр. |
3.3 Обозначение класса чистоты
Обозначение класса чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон включает:
a) классификационное число, выраженное как "Класс ИСО";
b) состояние чистого помещения;
c) заданные размеры частиц и соответствующие концентрации, определенные по уравнению (1), где каждый заданный пороговый размер частиц находится в пределах 0,1-5,0 мкм.
Пример обозначения:
Класс 4 ИСО; эксплуатируемое состояние; заданные размеры частиц:
0,2 мкм (2370 частиц/м); 1,0 мкм (83 частицы/м).
Размеры частиц, для которых следует определить концентрацию, должны быть согласованы заказчиком и исполнителем.
Если оценка должна быть сделана для более чем одного размера частиц, то каждый больший диаметр частицы (например, ) должен быть, по крайней мере, в 1,5 раза больше ближайшего меньшего диаметра частицы (например, ).
Например: .