3 Классы чистоты
3.1 Состояния чистого помещения
Чистота воздуха по частицам в чистом помещении или чистой зоне должна быть определена по одному (или более) из трех состояний чистых помещений - построенному, оснащенному или эксплуатируемому (см. 2.4).
Примечание - Следует иметь в виду, что состояние "построенное" может применяться к недавно построенным или недавно реконструированным чистым помещениям или чистым зонам. После испытания в состоянии "построенное" дальнейшие испытания должны выполняться по согласованию в состояниях "оснащенное" или "эксплуатируемое", или в обоих.
3.2 Классификационное число
Чистота по взвешенным в воздухе частицам обозначается классификационным числом . Максимально допустимая концентрация частиц для каждого данного размера частиц определяется из уравнения
, (1)
где - максимально допустимая концентрация (число частиц в кубометре воздуха) взвешенных в воздухе частиц, равных или больших чем данный размер частиц. округляется до ближайшего целого числа, при этом используется не более трех значащих цифр;
- классификационное число ИСО, которое не должно превышать значения 9. Промежуточные числа классификации ИСО могут быть определены с наименьшим допустимым приращением , равным 0,1;
- рассматриваемый размер частиц, мкм;
0,1 - константа, мкм.
В таблице 1 показаны классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам и соответствующие концентрации частиц размерами, равными и большими указанных размеров. На рисунке А.1 принятие класса чистоты показано в графическом виде. В случае разногласий концентрация , определяемая из уравнения (1), должна служить в качестве стандартного значения.
Таблица 1 - Классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон
Класс ИСО (Классифика- | Пределы максимальных концентраций (частицы/м воздуха) | |||||
0,1 | 0,2 | 0,3 | 0,5 | 1,0 | 5,0 | |
Класс 1 ИСО | 10 | 2 | ||||
Класс 2 ИСО | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
Класс 3 ИСО | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
Класс 4 ИСО | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
Класс 5 ИСО | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
Класс 6 ИСО | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
Класс 7 ИСО | 352000 | 83200 | 2930 | |||
Класс 8 ИСО | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
Класс 9 ИСО | 35200000 | 8320000 | 293000 | |||
Примечание - Из-за неопределенности, связанной с процессом измерения, при классификации следует использовать данные по концентрации, имеющие не более трех значащих цифр. |
3.3 Обозначение класса чистоты
Обозначение класса чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон включает:
a) классификационное число, выраженное как "класс N ИСО";
b) состояние чистого помещения, для которого применяется классификация;
c) рассматриваемый размер(ы) частиц и соответствующая концентрация(и), определенные по уравнению классификации (1), где каждый данный пороговый размер частиц находится в пределах 0,1-5,0 мкм.
Пример обозначения:
Класс 4 ИСО; эксплуатируемое состояние; рассматриваемые размеры:
0,2 мкм (2370 частиц/м), 1 мкм (83 частицы/м).
Рассматриваемый размер(ы) частиц, для которого следует определить концентрацию(и), должен быть согласован между Заказчиком и Исполнителем.
Если оценка должна быть сделана для более чем одного размера частиц, то каждый больший диаметр частицы (например, ) должен быть, по крайней мере, в 1,5 раза больше ближайшего меньшего диаметра частицы (например, ).
Например: >1,5.