Защита от выделяющихся газов и поражений при взрывах и при разрушении вакуумных приборов - по ГОСТ Р 51350 со следующими дополнениями:
13.1 Дополнить первый абзац предложением:
См. также 6.12.101 и 11.102.
Дополнить подразделами:
13.101 Система сброса давления в камере
Сброс давления в камере не должен вызывать опасности (см. 1.2).
Соответствие требованию проверяют осмотром и сличением с инструкцией по установке оборудования.
13.102 Доступ к загрузке после сбоя в работе
Если имеются средства, например ключ или код, для получения доступа к загрузке после сбоя в процессе выполнения рабочего цикла, никакие устройства обеспечения безопасности не должны выходить из строя и доступ к загрузке должен быть предотвращен до тех пор, пока условия в камере не перестанут представлять какую-либо опасность (см. 1.2).
Соответствие требованию проверяют анализом системы управления и, где это необходимо, - прерыванием рабочего цикла по очереди на каждой стадии и подтверждением того, что доступ к загрузке невозможен, пока существует опасность.
13.103 Прерывание работы основных и вспомогательных коммуникаций
Полное или частичное прерывание работы любых основных и вспомогательных неэлектрических коммуникаций не должно вызывать сбоев в системах безопасности и приводить к появлению какой-либо опасности (см. 1.2).
Восстановление прерванной работы коммуникаций также не должно приводить к появлению какой-либо опасности (см. 1.2).
Соответствие требованиям проверяют осмотром и испытаниями с поочередным отключением каждой коммуникации.