ГОСТ Р 50116-92

Группа Э00

     
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ЭЛЕКТРОННАЯ ГИГИЕНА

Термины и определения

Microcontamination control.
Terms and definitions

OКC 01.040.31

ОКСТУ 0012

Дата введения 1993-07-01

     

Предисловие

1 РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Техническим комитетом 303 ВНИИЭлектронстандартом

2 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН в действие Постановлением Госстандарта России от 06.08.92 N 896

3 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

4 ПЕРЕИЗДАНИЕ

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области электронной гигиены.

Стандарт распространяется на стадии разработки, освоения и производства изделий, осуществляемые в чистых производственных помещениях на чистых рабочих местах.

Термины, устанавливаемые стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ.

1 Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин. Применение терминов-синонимов стандартизованного термина не допускается. Недопустимые термины-синонимы приведены в круглых скобках после стандартизованного термина и обозначены пометой "Ндп".

2 Заключенная в круглые скобки часть термина может быть опущена при использовании термина в документах по стандартизации.

Наличие квадратных скобок в терминологической статье означает, что в нее включены два термина, имеющие общие терминоэлементы.

В алфавитном указателе данные термины приведены отдельно с указанием номера одной статьи.

3 Приведенные определения можно при необходимости изменять, вводя в них производные признаки, раскрывая значения используемых в них терминов, указывая объекты, входящие в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в настоящем стандарте.

В случаях, когда в термине содержатся все необходимые и достаточные признаки понятия, определение не приводится, и вместо него ставится прочерк.

4 В стандарте приведен алфавитный указатель терминов на русском языке.

5 Термины и определения общетехнических понятий, необходимые для понимания текста стандарта, приведены в приложении.

6 Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы, представленные аббревиатурой, - светлым, а синонимы - курсивом.

     1 Общие понятия

1.1 электронная гигиена; ЭГ (Ндп. вакуумная гигиена; электронно-вакуумная гигиена; технологическая гигиена; производственная гигиена): Комплекс обязательных требований, норм, средств и мероприятий, направленных на обеспечение заданных параметров технологического микроклимата с целью защиты изделий от неблагоприятных внешних воздействий в процессе производства.

1.2 (технологический) микроклимат: Искусственно создаваемые условия воздушной и газовой среды в помещениях и на рабочих местах для защиты изделий от неблагоприятных внешних воздействий.

Примечание - Воздушная среда характеризуется запыленностью, температурой, относительной влажностью, скоростью воздушного потока и его ламинарностью, избыточным давлением, уровнем вибрации и шума, напряженностью электромагнитного поля, уровнем электростатического заряда.

1.3 чистое помещение; ЧП: Помещение, в том числе и производственное, характеризуемое по степени запыленности классом чистоты, в котором конструктивно-строительным решением и применением специальных технических средств обеспечиваются заданные параметры технологического микроклимата.

1.4 чистое рабочее место; ЧРМ: Рабочее место в чистом помещении, характеризуемое по степени запыленности классом чистоты, на котором конструктивным решением и применением специальных технических средств обеспечиваются заданные параметры технологического микроклимата.

1.5 класс чистоты помещения [рабочего места] (Ндп. уровень запыленности, уровень чистоты): Характеристика чистого помещения [рабочего места], определяемая нормами запыленности в них.

1.6 служба электронной гигиены: Подразделение, осуществляющее координацию работ по обеспечению и контролю требований электронной гигиены.

1.7 дисциплина в чистом помещении: Элемент технологической дисциплины, регламентирующий соблюдение персоналом чистого помещения требований и правил электронной гигиены, установленных в нормативно-технических документах.

     2 Характеристики технологического микроклимата

2.1 (технологическое) загрязнение: Наличие твердых и жидких частиц, примесей газов, а также микроорганизмов, которые могут явиться причиной дефектов в процессе производства.

2.2 источник загрязнения -

2.3 запыленность воздуха [газа] (Ндп. содержание частиц, концентрация частиц): Количество частиц в единице объема воздуха [газа].

Примечание - При нормировании и контроле запыленности следует указывать размер(ы) частиц.

     3 Средства обеспечения электронной гигиены

3.1 средства обеспечения электронной гигиены: Комплекс технических средств обеспечения параметров технологического микроклимата, включающий в себя пылезащитное и пылеулавливающее оборудование, технологическую одежду, технологические принадлежности.

3.2 пылезащитное оборудование: Оборудование, устанавливаемое в чистых помещениях для защиты изделий, технологического оборудования, оснастки и инструмента от неблагоприятных внешних воздействий, в том числе от загрязнений.

Примечание - К пылезащитному оборудованию относятся пылезащитные боксы, пылезащитные кабины и микроклиматические камеры.

3.3 термоконстантное [термовлагоконстантное] пылезащитное оборудование: Пылезащитное оборудование, в котором с заданной точностью поддерживаются температура [температура и относительная влажность] воздуха.

3.4 чистая комната: Пылезащитное оборудование, представляющее собой замкнутый герметичный объем для размещения технологического оборудования или его рабочей части, оснастки, инструмента, обрабатываемых изделий, персонала и проведения технологических операций.

Примечание - Чистые комнаты предназначены для проведения технологических операций, требующих высокой степени чистоты воздушной среды.

3.5 пылезащитная (технологическая) тара: Герметичная тара из антистатических материалов, стойких к внешним воздействиям и не выделяющих пыли, предназначенная для защиты изделий от загрязнений, механических повреждений и статического электричества.

Примечание - Пылезащитная тара может быть активной, имеющей системы подготовки, очистки и продувки воздуха, или пассивной, заполняемой очищенным газом или воздухом под избыточным давлением.

3.6 технологическая одежда: Комплект одежды и обуви, предназначенный для работающих в чистых помещениях и предохраняющий изделия, оборудование, оснастку, инструмент и рабочее место от вносимых работающим загрязнений и статического электричества.

Примечание - В зависимости от условий технологического процесса технологическая одежда должна быть стойкой к кислотам или щелочам, не выделяющей пыли, обладать антистатическими свойствами.

3.7 технологические принадлежности: Средства защиты изделий, материалов, оборудования, инструмента и оснастки от попадания загрязнений с рук работающих.

     4 Производственные здания с чистыми помещениями

4.1 производственное здание с чистыми помещениями: Здание, в котором обеспечены условия размещения чистых помещений.

4.2 чистая зона (Ндп. гермозона): Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения чистых производственных помещений, включая зоны их обслуживания.

Примечание - В чистой зоне могут находиться помещения или комнаты различного класса чистоты, имеющие различные параметры технологического микроклимата, определяемые требованиями организации технологического процесса.

4.3 сервисная зона (Ндп. подготовительная зона): Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения помещений, в которых проводится подготовка технологических сред и материалов, снятие упаковки с оборудования при вводе его в чистые помещения и другие работы технологического обеспечения производства.

4.4 зона инженерно-технического обслуживания: Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения вентиляционных камер, кондиционеров, станции подготовки воды, компрессорной станции, камеры пылеуборки, трансформаторной подстанции, системы пожаротушения, складов и других инженерных систем.

4.5 зона социально-бытового обслуживания: Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения помещений блока подготовки персонала, комнат отдыха, уборных помещений, медпункта и других вспомогательных помещений.