5.1. Предварительное испытание
Подготовленные образцы сначала просматривают в темном поле полярископа или в поляриметре без светофильтра и с анализатором в нулевом положении. Находят место с наибольшей разностью хода. Если в поле зрения появится красная полоса, то разность хода превышает 540 нм и в дальнейшем измерение проводят согласно п.5.3. Если в поле зрения нет красных полос, то измерение проводят согласно п.5.2.
5.2. Проведение испытания при разности хода менее 540 нм
5.2.1. Качественные и полуколичественные способы
Измерение разности хода с применением ступенчатого клина проводят двумя методами: сравнением и компенсацией.
5.2.1.1. При измерении значения разности хода лучей методом сравнения следует образец и ступенчатый клин поместить в поле зрения полярископа так, чтобы изменение цвета интерференционной окраски в образце и клине при возрастании разности хода происходило в такой последовательности: от синего через зеленый к желтому или от красного через оранжевый к желтому.
Разность хода в образце определяют сравнением цвета испытуемого участка образца с цветом различных ступеней клина. Если цвет одной ступени клина близок или совпадает с цветом испытуемого участка образца, то разность хода в образце принимают равной разности хода в этой ступени клина.
Если цвет проверяемого участка образца окажется промежуточным между цветами соседних ступеней клина, то разность хода принимают равной половине суммы разностей хода в этих ступенях.
5.2.1.2. При измерении значения разности хода методом компенсации следует образец и ступенчатый клин поместить в поле зрения полярископа так, чтобы последовательность наблюдаемых цветов клина и образца не совпадали. Клин располагают над образцом или под ним, так, чтобы просмотр можно было проводить одновременно сквозь клин и образец. При этом в испытуемом участке образца происходит компенсация разности хода лучей. Значение разности хода уменьшается по сравнению с первоначальным значением в образце. Клин перемещают в направлении длинной стороны так, чтобы проверяемый участок образца находился последовательно против различных ступеней клина. Окраску, создаваемую совместно цветом клина и цветом образца, сопоставляют с окраской свободного поля полярископа.
Разность хода в образце принимают равной разности хода в той ступени клина, цвет которой совместно с цветом проверяемого участка образца дает окраску свободного поля полярископа или окраску, близкую к нему.
Если значения компенсации будут находиться между результатами ступеней клина, то разность хода в образце принимают равной половине значения суммы разностей этих ступеней.
Погрешность метода измерения разности хода с применением ступенчатого клина не должна быть более:
±5 нм - при максимальной разности хода от 10 до 100 нм;
±10-15 нм - при максимальной разности хода свыше 100 нм.
5.2.1.3. При измерении разности хода с применением таблицы интерференционных цветов изделие помещают в поле полярископа и, поворачивая, находят места в контролируемой части изделия с наиболее интенсивными интерференционными цветами.
Наблюдаемое место должно быть постоянно в центре поля зрения, так как при повороте образца до максимальной разности хода происходит изменение цвета через оранжевый или синий.
По наблюдаемой в образце интерференционной окраске определяют разность хода в нанометрах в соответствии с табл.2.
Таблица 2
Интерференционный цвет | Разность хода, нм | Изменение цвета |
Оранжевый | 400±30 | |
Желтый | 330±30 | |
Желто-зеленый | 290±30 | |
Зеленый светлый | 220±20 | |
Зеленый | 180±20 | Через синий |
Зеленый темный | 150±10 | |
Зелено-голубой | 120±10 | |
Голубой | 90±10 | |
Синий | 70±10 | |
Сине-фиолетовый | 50±10 | |
Фиолетовый | 20±10 | |
Фиолетово-пурпурный | 0 | |
Красный | 20±10 | |
Красно-оранжевый | 50±10 | |
Оранжевый | 70±10 | Через оранжевый |
Оранжевый светлый | 90±10 | |
Желто-оранжевый | 120±10 | |
Желто-оранжевый светлый | 150±10 | |
Желтый | 180±20 | |
Желтый светлый | 220±20 | |
Белый | 290±30 | |
Серый светлый | 330±30 |
5.2.1.4. При измерении разности хода с применением иммерсионной жидкости изделие с неплоскопараллельными поверхностями следует погружать в иммерсионную жидкость или, если изделие имеет большие размеры, иммерсионную жидкость следует наносить кисточкой.
5.2.1.5. При измерении разности хода с применением контрольных образцов контрольный образец должен быть таким же, как и испытуемый, иметь одинаковые с ним размеры и разность хода.
К контрольному образцу прикрепляют ярлык с указанием контрольной разности хода.
Сравнивают интерференционные цвета в контрольном и испытуемом образцах.
5.2.2. Количественные способы
При измерении разности хода с помощью поляриметра лимб анализатора устанавливают на нулевую отметку, вводят пластину /4 и зеленый светофильтр. Анализатор поворачивают на несколько градусов в обе стороны и для компенсации выбирают то направление поворота анализатора, при котором темные полосы приближаются к месту измерения. Медленно вращают анализатор до тех пор, пока наблюдаемые в поле зрения темные полосы не сольются в одну утолщенную. Затем анализатор слегка поворачивают в обратную сторону, в результате чего образуется небольшой просвет между полосами, которые затем снова доводят до соприкосновения. Угол поворота анализатора определяют по лимбу анализатора. Для расчета разности хода применяют среднее значение результатов трех отсчетов.